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山東新澤儀器儀表有限公司


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SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SERVOPRO NanoChrome

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時間:2022-06-06 13:39:59瀏覽次數(shù):656次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:355條

所在地區(qū):山東濟南市

聯(lián)系人:李 (文員)

產(chǎn)品簡介

一、產(chǎn)品簡介仕富梅全新的SERVOPRONanoChrome超痕量氣體分析儀,通過引進的氣體傳感技術(shù)和信號處理方法,*改變了半導(dǎo)體行業(yè)中的超高純氣體分析,專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中處于超痕量水平的雜質(zhì)氣體和烴類測量而設(shè)計

詳細(xì)介紹

 、產(chǎn)品簡介

仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀,通過引進的氣體傳感技術(shù)和信號處理方法, *改變了半導(dǎo)體行業(yè)中的超高純氣體分析,專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中處于超痕量水平的雜質(zhì)氣體和烴類測量而設(shè)計。的NanoChrome采用由仕富梅特別開發(fā)的一種創(chuàng)新高靈敏度的等離子體發(fā)射探測器(PED)從而能夠提供超低檢測限度。已通過氬氣和氮氣的超痕量測量測試,擴展的測量波長使測量H2, CH4, CO 以及CO2以及直鏈烴的測量無需甲烷轉(zhuǎn)化器。由于無需可燃?xì)怏w,仕富梅PED傳感器增加了安全性,同時降低了運營成本。

產(chǎn)品特點

u BETTER THAN THE GETTER 的多組分超微量級氣體分析儀

u 適用于 Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC 的 PED 傳感器無需維護

u 無需燃料氣,從而提高了安全性

u 智能平臺,獨立軟件的單機系統(tǒng)

u 基于互聯(lián)網(wǎng)的遠(yuǎn)程操控

u 內(nèi)置校準(zhǔn)系統(tǒng)

u 與仕富梅公司的 Delta F 系列超高純氣體分析儀一道為客戶提供全面解決方案

、產(chǎn)品規(guī)格

LDL:檢測限低達 300ppt(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)

量程:0-250ppb(用戶可以配置)

重量:11-27Kg (25-60lbs)(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)

校準(zhǔn):250ppb 標(biāo)氣或在選裝內(nèi)部稀釋系統(tǒng)條件下使用5ppm標(biāo)氣

功率消耗:400W-1200W

運載氣體:凈化的氦氣或氬氣

可重復(fù)性:檢測限讀數(shù)誤差為 ±2%,以較高者為準(zhǔn)

樣氣流量:50-350ml/min(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)

樣氣壓力:30psig(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)

載氣流量:通常為 90-500ml/min(根據(jù)具體情況加以應(yīng)用)

載動壓力:建議為 100psig

檢測器類型:增強型等離子發(fā)射檢測器

燃料和空氣:任何情況下都不需要

流量穩(wěn)系統(tǒng):全部流量采用PID系統(tǒng)進行電子控制

尺寸 (WxDxH):底盤或從機箱,標(biāo)準(zhǔn)機架安裝式4U附件482 x 600 x 177mm (19 x 24 x 7")

四、圖片展示

   SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀-山東新澤儀器有限公司

   

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關(guān)鍵詞:氣體分析儀 傳感器

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