汽輪機(jī)振動(dòng)傳感器UE，利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電路就可得到正?比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測(cè)量和控制。這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對(duì)于膜片中心對(duì)稱。

技術(shù)參數(shù)：

　　被測(cè)介質(zhì)：氣體、液體

　　壓力類型：表壓，負(fù)壓，正負(fù)壓，絕壓

　　量程：-100KPa～1MPa～10MPa～60MPa～100MPa～400MPa；±100KPa等正負(fù)混合壓力

　　同時(shí)輸出：無(wú)線GPRS傳輸（需插SIM卡），RS485數(shù)字信號(hào)，0~5VDC模擬信號(hào)，TTL/5V高低電平信號(hào)。

　　綜合精度： ±0.1%FS（量程60MPa以上）、±0.25%FS、±0.5%FS

　　供電：交流220VAC（變壓直流12VDC），直流7-24VDC （可電池供電）

　　絕緣電阻： ≥1000 MΩ/100VDC

　　介質(zhì)溫度： -20～85℃、-20～150℃、-20～200℃、-20～500℃（可選）

　　環(huán)境溫度： -20～70℃

　　儲(chǔ)存溫度： -40～70℃

　　相對(duì)濕度： 0～95% RH

　　密封等級(jí)： IP65/IP68

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汽輪機(jī)振動(dòng)傳感器UE

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