常用的有機廢氣處理方法有光氧催化、低溫等離子、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附、生物藥液降解等，無機廢氣因為要脫硫脫硝工藝較復雜本文不做說明。這些有機廢氣因所處行業(yè)、濃度不同適合于不同的處理方法，不能一概而論那種方法好，哪種方法不好，要具體問題具體分析。
光氧催化氧化利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投資費用低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行穩(wěn)定，占地小，運行費用低，隨用隨開，不會造成二次污染。
吸附法利用吸附劑的吸附功能使有機廢氣物質由氣相轉移至固相，適用于處理低濃度，高凈化要求的有機廢氣。凈化效率很高，可以處理多組分有機廢氣，吸附劑費用昂貴，再生較困難，要求待處理的有機廢氣有較低的溫度和含塵量。
低溫等離子體等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，zui終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分有機廢氣，設備占地面積?。浑娮幽芰扛?，幾乎可以和所有的有機廢氣分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。但對含水、含塵、有機廢氣易爆炸，一次性投資費高。
催化燃燒法又稱為(RTO)在高溫下有機廢氣物質與燃料氣充分混和，在催化劑(三氧化二鋁或*)實現(xiàn)*燃燒。適用于處理高濃度、小氣量的可燃性氣體，凈化效率高，有機廢氣物質被*氧化分解，但設備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染。
水吸收法(噴淋塔)利用有機廢氣中某些物質易溶于水的特性，使有機廢氣成分直接與水接觸，從而溶解于水達到去除目的。適用于水溶性、有組織排放源的有機廢氣。工藝簡單，管理方便，設備運轉費用低，但產生二次污染，需對洗滌液進行處理；凈化效率低，應與其他技術聯(lián)合使用，對有機廢氣處理效果差。
藥液吸收法利用有機廢氣中某些物質和藥液產生化學反應的特性，去除某些有機廢氣成分，適用于處理大氣量、高中濃度的有機廢氣。能夠有針對性處理某些有機廢氣成分，工藝較成熟，凈化效率不高，消耗吸收劑，易形成而二次污染。
催化氧化反應塔內裝填特制的固態(tài)復合填料，填料內部復合催化劑。當有機廢氣在引風機的作用下穿過填料層，與通過特制噴嘴化劑在固相填料表面充分接觸，并在催化劑的催化作用下，有機廢氣中的污染因子被充分分解。適用范圍廣，尤其適用于處理大氣量、中高濃度的廢氣，對疏水性污染物質有很好的去除率。占地小，投資低；管理方便，即開即用；耐沖擊負荷，不易被污染物濃度及溫度變化影響。需消耗一定量的藥劑，運行成本較高，催化劑操作不當會中毒，存在二次污染。
光化學利用惡臭物質對光子的吸收而發(fā)生分解，同時反應過程產生的羥基自由基、活性氧等強化性基團也能參與氧化反應，從而達到降解惡臭物質的目的。適用于濃度較低，且能吸收光子的污染物質，可以處理大氣量的、低濃度的有機廢氣，操作極為簡單，占地面積小。對不能吸收光子的污染物質效果差，對于成分復雜的廢氣無法達到預期處理效果。
光氧催化是光化學和催化氧化方法的一種升級，它把光化學和催化氧化結合起來，處理效果更佳，而且不存在催化劑中毒及對成分復雜的廢氣的缺陷，而且它的運營成本更低，因為有催化劑的作用在中低溫的情況下也能進行，所以它的能耗也更低。對VOCS氣體的異味，甲苯、甲醛、二甲苯等氣體處理效率能達到96%以上。韻藍廢氣處理研究院經(jīng)過十年左右的科研攻關及數(shù)千的案例進行分析比較后發(fā)現(xiàn)，針對VOCS，光氧催化是目前zui有效、zui節(jié)省成本的一種廢氣處理方法，特別是對濃度在100-800mg/m3的廢氣能*處理掉。
