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上海奕卿過濾科技有限公司
主營產品： 不銹鋼多袋式過濾器,大流量袋式過濾器,多層板框過濾機 |
半導體工業(yè)用的超純氣體過濾處理
2017-9-5 閱讀(2703)
超純氣體處理
過程簡述
半導體工業(yè)用的超純氣體有氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等，它們大部分 是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進一步精制得到，根據原料氣來源情況、雜質組份含量、純度要求來選擇相應的制備方法。集成電路發(fā) 展到兆位級后，對超凈提出了更嚴格要求，在超純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過濾器。
問題描述
半導體元件因其高集成化，制作芯片上的電子電路的zui小加工線寬度變得更微細，16k位電路線寬、線路間距為4~7微米，而256k位電路為0.8~1.5微 米；這種微細的加工允許的微粒子的zui小粒徑是加工尺寸的1/5~1/10，故對于64k位隨機存取記憶，存在0.3微米的粒子會成為問題，對于 256k~1M位隨機存取記憶，某一段存在0.1微米的粒子就會成為問題。在半導體工業(yè)生產中, 幾乎各道工序都用到超純氣體, 元件的質量與超純氣體的純凈度密切相關。
產品應用
深度過濾：
1.玻璃纖維濾紙；
2.多孔陶瓷；
3.燒結金屬；
4.石棉；
5.毛氈。
膜過濾：
1.金屬孔板（絲網）;
2.Teflon膜;
3.陶瓷膜.
產品：
濾芯過濾器、袋式過濾器等
