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1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE

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更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：228次

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強(qiáng)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機(jī)組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中（如：粉體摻雜（空穴、間隙原子）、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等）。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

•齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

• 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

•爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。

工作電源：

•輸入電壓：AC208-220V， 50/60Hz

•總功率：<4KW

加熱爐參數(shù)：

•溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃;

•兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃;