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小型PVE管式爐系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-50S-PE

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更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：225次

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）。該設(shè)備配有等離子射頻電源，開(kāi)啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類(lèi)型的PECVD系統(tǒng)，且設(shè)備性?xún)r(jià)較為理想。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

•整套設(shè)備尺寸小巧；

•可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量；

•可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。

加熱爐參數(shù)：

•溫度：1100℃（《30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

射頻電源：