全自動(dòng)噴膠機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

詳細(xì)介紹

噴膠機(jī)

適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

處理晶圓:25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動(dòng)mapping
電缸有效行程:300mm*300mm
線軌式機(jī)械手自動(dòng)上下片,可連續(xù)自動(dòng)化工藝處理
霧化流量:8ml/min,程序可調(diào)
霧化顆粒直徑:30～50um
溫度均勻性:≤±1%(溫度范圍:RT～150℃)
控溫精度:±0.5℃
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H）

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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全自動(dòng)噴膠機(jī)

上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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