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3靶等離子濺射儀--VTC-16-3HD

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

輸入功率	110V / 220V 通用 < 2000W (含真空泵)
輸出功率	1600VDC 大電流50mA
樣品室	石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
加熱樣品臺(tái)	一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置基片可以放在樣品臺(tái)上. 加熱溫度 500°C PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-10°C 長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5分鐘
控制面板	控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置和基片加熱溫度
可選	KF25 真空接口、卡箍，和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內(nèi)）不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接各種高純度金屬靶需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶（這個(gè)我們不提供）
進(jìn)氣口	一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
靶材	標(biāo)配靶材分別有金，銀，銅靶材: 尺寸: 金靶 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs 銀靶 47 mm dia. x 0.5 mm, 1pcs 銅靶 47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs 可選靶材點(diǎn)擊鏈接、 Pt , Ag target , Zinc tarhetD
外形尺寸	360mm × 350mm × 360mm (L×W×H) 凈重:50KG
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，終身維護(hù)。
質(zhì)量認(rèn)證	Certified