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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司


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3靶等離子濺射儀--VTC-16-3HD

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式:徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-05-03 10:20:40瀏覽次數(shù):247次

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經(jīng)營(yíng)模式:

商鋪產(chǎn)品:1313條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:徐鰲 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

輸入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率

  • 1600VDC
  • 大電流50mA 

樣品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺(tái)

  • 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái)可以移動(dòng)三個(gè)位置 
  • 基片可以放在樣品臺(tái)上加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸摸屏面板,控溫精度+/-10°C 
  • 長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5分鐘

控制面板

  • 控制面板為PLC,4.3觸摸屏
  • 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置  基片加熱溫度

可選
 

 

  • KF25 真空接口、卡箍,和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內(nèi))
  • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
  • 各種高純度金屬靶
  • 需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 (這個(gè)我們不提供)

進(jìn)氣口

 一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量



靶材

 

 

標(biāo)配靶材分別有

  • 金,銀,銅 靶材: 
  • 尺寸金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可選靶材點(diǎn)擊鏈接、
    Pt Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,終身維護(hù)。

質(zhì)量認(rèn)證

   Certified

 

關(guān)鍵詞:真空泵 旋片式真空泵

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