真空法蘭是一種可拆的密封連接種類，它可以在反復拆裝后仍保持一定的密封性能，并可更換老化損壞的密封件。我們平常使用的真空法蘭形式主要包括以下6種：

1、真空快卸法蘭

真空快卸法蘭主要用于高、中、低真空管路，又分夾緊型和擰緊型，通常用O型橡膠密封圈密封。

2、卡鉗真空法蘭

卡鉗真空法蘭同樣用于高、中、低真空的管路連接，形式上有卡鉗螺釘連接、卡鉗墊塊連接及卡鉗螺栓連接。

3、金屬密封法蘭

金屬密封法蘭一般用于壓力低于10-7Pa的超高真空系統(tǒng)，要求密封材料耐200℃以上的高溫烘烤。常用的密封材料有鋁、銅、金等。

4、橡膠密封真空法蘭

普通橡膠密封真空法蘭廣泛用于高、中、低真空金屬系統(tǒng)中。如果用于超高真空系統(tǒng)，則需要用到另外形式的橡膠密封法蘭。

5、氟橡膠超高真空法蘭

氟橡膠超高真空法蘭，顧名思義可用于超高真空系統(tǒng)，它采用氟橡膠密封圈，與導管需要采用雙面焊接，并精加工，減少各類缺陷。

6、雙重橡膠密封法蘭

雙重橡膠密封法蘭主要用于避免橡膠材料的出氣和滲漏影響，以實現(xiàn)超高真空的獲得。通過中間冷卻槽冷凍橡膠或中間抽真空來達到降低橡膠出氣和減少滲漏的目的。

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