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杭州正島電器設(shè)備有限公司

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杭州市拱墅區(qū)康橋工業(yè)區(qū)康園路15號
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半導(dǎo)體潔凈車間空氣濕度控制方案 超聲波干霧加濕器

2022-8-19  閱讀(663)

半導(dǎo)體潔凈車間空氣濕度控制方案 超聲波干霧加濕器 產(chǎn)品詳細(xì)信息:現(xiàn)在的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝發(fā)展速度很快, 產(chǎn)品的發(fā)展方向是更精密以及集成度更高,納米不是半導(dǎo)體的終點(diǎn),飛米才半導(dǎo)體的追求,直至傳說中的量子芯片,畢竟現(xiàn)在的手機(jī)芯片已經(jīng)是3納米了,再想提高性能,那么就只能往更小的更精密的目標(biāo)發(fā)展。目前,制造工藝已經(jīng)進(jìn)入納米時(shí)代,對生產(chǎn)設(shè)備的精度要求越來越嚴(yán)格,對生產(chǎn)環(huán)境的要求也就更加要個(gè),要不然的話環(huán)境影響生產(chǎn)的事情就會不斷出現(xiàn)。


因此半導(dǎo)體潔凈室的各個(gè)環(huán)境指標(biāo)需要嚴(yán)格的控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點(diǎn),其控制的效果直接影響著生產(chǎn)的優(yōu)良率。目前半導(dǎo)體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為: 溫度22±2℃,濕度45±5%RH。溫度控制可以通過空調(diào),濕度控制就需要根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行,在秋冬季節(jié)最好使用超聲波干霧加濕機(jī)來加濕,它霧化顆粒細(xì),不會打濕生產(chǎn)設(shè)備跟產(chǎn)品,因?yàn)榍锒竟?jié)空氣干燥,不能滿足潔凈室的需求。在秋冬季節(jié)使用干霧加濕機(jī),需要使用純凈水來加濕,這樣才能適合潔凈室對空氣濕度的需求。

潔凈室加濕器

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