*T系列羅茨真空泵

羅茨真空泵前級(jí)泵選擇：
羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須配上前級(jí)泵組成機(jī)組，使用前級(jí)真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的，所以選擇前級(jí)真空泵的抽速是重要的，羅茨真空泵的大壓縮比是隨排出壓力而變化的，在高排出壓力下，大壓縮比多大3：1，而zui高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達(dá)50:1，甚至更高些。
因此，選擇前級(jí)泵的抽速，要根據(jù)羅茨真空泵的*工作壓力范圍考慮。
例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣，要求在1 mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速，并*工作，問應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵。
先假定用30升/秒的前級(jí)泵時(shí)，壓縮比K=600：30=20得出K=20時(shí)大排出壓力為30 mbar。
由此得出，當(dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí)，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前級(jí)泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。
另外應(yīng)當(dāng)考慮的是，對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求問題，如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長，可選較小的前級(jí)泵;假如真空室較大，而且要求很快預(yù)抽，就要用較大的前級(jí)泵，有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率，機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級(jí)泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。
對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級(jí)泵的必須考慮的，對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵，極限真空度要求在133～1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。
當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。
選用前級(jí)泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。 

羅茨真空泵具有以下特點(diǎn)：
在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速；
啟動(dòng)快，能立即工作；
對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；
轉(zhuǎn)子不必潤滑，泵腔內(nèi)無油；
振動(dòng)小，轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡條件較好，沒有排氣閥；
驅(qū)動(dòng)功率小，機(jī)械摩擦損失??；
結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積??；
運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。 

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*T系列羅茨真空泵