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材料表面/體積電阻率測(cè)定儀

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北京智德創(chuàng)新儀器設(shè)備有限公司

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材料表面/體積電阻率測(cè)定儀系列技術(shù)方案書材料表面/體積電阻率測(cè)定儀概述功能與特性可使靈敏測(cè)量的置信度zui大化儀器不僅提供了行業(yè)的測(cè)量功能，并且憑借的新特性zui大程度地增強(qiáng)您的測(cè)量置信度

詳細(xì)介紹

材料表面/體積電阻率測(cè)定儀系列

技

術(shù)

方

案

書

材料表面/體積電阻率測(cè)定儀概述

功能與特性可使靈敏測(cè)量的置信度 zui大化

儀器不僅提供了行業(yè)的測(cè)量功能，并且憑借的新特性 zui大程度地增強(qiáng)您的測(cè)量置信度。飛安表/皮安表和靜電計(jì)具有 0.01 fA (10-17 A) zui小電流分辨率，可滿足當(dāng)前和未來(lái)的微弱電流測(cè)量需求。靜電計(jì)內(nèi)置的1,000 V 電壓源支持測(cè)量高達(dá) 10 PΩ (1016?Ω) 的電阻，儀器還可與公司業(yè)經(jīng)驗(yàn)證的高阻計(jì)附件搭配使用。另外，飛安表/皮安表和靜電計(jì)均提供電池供電型產(chǎn)品，以消除交流電源線噪聲。電池供電模式極大地減少了測(cè)量噪聲，實(shí)現(xiàn) 的低電平測(cè)量。

與傳統(tǒng)的皮安表和靜電計(jì)不同，采用 4.3 英寸彩色 LCD 圖形用戶界面(GUI)，提供多種視圖模式以便用戶觀察數(shù)據(jù)。除數(shù)字格式外，測(cè)量數(shù)據(jù)還可以轉(zhuǎn)換為圖像、直方圖及趨勢(shì)圖的形式。的前面板功能可在不依賴外部 PC 下捕獲瞬態(tài)信號(hào)特性并快速地進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。還能夠幫助用戶維持外部布線和夾具的測(cè)量完整性。儀器增添了測(cè)試設(shè)置完整性檢查軟件，允許用戶比較在不同布線和夾具配置下的儀器噪聲電平，進(jìn)而確定和隔離測(cè)量系統(tǒng)中的噪聲敏感區(qū)域。除了上述令人印象深刻的測(cè)量功能外，還提供了一些使用簡(jiǎn)便的測(cè)量輔助功能，可讓那些從未接受或已接受過電氣工程部分培訓(xùn)的用戶輕松地完成復(fù)雜的電氣表征。

材料表面/體積電阻率測(cè)定儀主要技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)	飛安表/皮安表		靜電計(jì)/高阻計(jì)
型號(hào)	B2981A	B2983A	B2985A	B2987A
測(cè)量分辨率	6? 位	6? 位	6? 位	6? 位
電流測(cè)量	0.01 fA - 20 mA	0.01 fA - 20 mA	0.01 fA - 20 mA	0.01 fA - 20 mA
zui小量程	2 pA		2 pA	2 pA
電阻測(cè)量			高達(dá) 10 PΩ	高達(dá) 10 PΩ
電壓測(cè)量			1 μV - 20 V	1 μV - 20 V
輸入電阻			> 200 TΩ	> 200 TΩ
電荷測(cè)量			1 fC - 2 μC	1 fC - 2 μC
溫度測(cè)量			?	?
濕度測(cè)量			?	?
電壓源			高達(dá) ±1,000 V	高達(dá) ±1,000 V
zui小分辨率			700 μV	700 μV
zui大讀取速率	20,000 讀數(shù)/秒	20,000 讀數(shù)/秒	20,000 讀數(shù)/秒	20,000 讀數(shù)/秒
電池供電		?		?
其他主要特性	圖形顯示功能（儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動(dòng)視圖），自動(dòng)擋航，緩沖器（有10萬(wàn)個(gè)采樣點(diǎn)），接口（USB、LAN、GPIB、LXICore），免費(fèi)的PC控制軟件

的圖顯皮安表/靜電計(jì)可測(cè)量低至 0.01 fA 的電流和高達(dá) 10 PΩ 的電阻

主要特性

– 0.01 fA (10-17 A) zui小電流分辨率, 2 pA 至 20 mA 電流量程, 6.5 位分辨率

– 在 zui低電流量程內(nèi)的內(nèi)阻壓降小于 20 μV

– 讀取速率高達(dá) 20,000 讀數(shù)/秒

– 提供電池供電型產(chǎn)品, 以消除電源線噪聲并進(jìn)行測(cè)量1

– 內(nèi)置 ±1,000 V 電壓源 2

– 測(cè)量高達(dá) 10 PΩ (1016 Ω) 的電阻 2

– 輸入阻抗 > 200 TΩ, 支持高達(dá) 20 V 的電壓測(cè)量 2

– 獨(dú)立的電流和電壓測(cè)量2

– 6.5 位分辨率可實(shí)現(xiàn)低至 2 nC 量程的電荷測(cè)量2

– 溫度和濕度測(cè)量 2

– 四種視圖模式 (儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動(dòng)視圖)

– 簡(jiǎn)單易用的自動(dòng)導(dǎo)航特性, 便于選擇的量程和積分時(shí)間

– 測(cè)試設(shè)置完整性檢查功能選件, 可隔離噪聲源

– 多功能接口 (USB 2.0: LAN、GPIB、LXI Core)

– USB (前面): 存儲(chǔ)數(shù)據(jù), 保存/調(diào)用設(shè)置信息

– 免費(fèi) PC 控制軟件

材料表面/體積電阻率測(cè)定儀應(yīng)用實(shí)例

– 材料科學(xué)(生物材料、陶瓷、橡膠、薄膜、介質(zhì)材料、電化學(xué)材料、鐵電材料、石墨烯、金屬、有機(jī)材料、納米材料、聚合物、半導(dǎo)體等)

– 電子元器件(電容器、電阻器、二極管、傳感器、TFT 和 CNT 等類型的晶體管、光電器件、太陽(yáng)能電池等)

– 電子/非電子系統(tǒng) (離子束、電子束、傳感系統(tǒng)、粒子測(cè)量、嵌入式精密儀器等)

0.01 fA 分辨率

為什么至關(guān)重要 ?

許多材料科學(xué)和器件表征應(yīng)用要求測(cè)試設(shè)備能夠測(cè)量超微弱電流，但傳統(tǒng)的數(shù)字萬(wàn)用表 (DMM) 不能做到這一點(diǎn)。飛安表/皮安表和靜電計(jì)提供行業(yè)的 0.01 fA 電流測(cè)量分辨率，從而能夠進(jìn)行精確、詳細(xì)的測(cè)量，性能遠(yuǎn)勝于傳統(tǒng)的皮安表和靜電計(jì)。因此您可以確定，將會(huì)滿足您的未來(lái)電流測(cè)量要求。

出色的 0.01 fA 分辨率結(jié)合其他特性, 助您解決以往棘手的測(cè)量問題

解決方案 1: 為用戶提供了時(shí)域視圖 (滾動(dòng)視圖),可以讓您直觀地選擇何時(shí)進(jìn)行數(shù)據(jù)捕獲。

圖形用戶界面提供了滾動(dòng)視圖，以圖形方式實(shí)時(shí)地顯示捕獲數(shù)據(jù)，并可存儲(chǔ)多達(dá) 100,000 個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，以備用戶日后檢索。高達(dá) 100 kHz 采樣率的時(shí)域視圖可顯示實(shí)時(shí)測(cè)量趨勢(shì)，引導(dǎo)用戶深入探索被測(cè)器件 (DUT) 的動(dòng)態(tài)特性。提供靈活的圖形顯示功能，以簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)分析。在圖形視圖中，靜電計(jì)可用內(nèi)置電壓源的數(shù)值或電壓測(cè)量數(shù)據(jù)在屏幕上繪制 I-V 曲線，也可輕松地繪制多種其他的 X-Y 圖，包括 I-t、V-t、R-t、Q-t 和 I-R 等 (特定的圖形顯示功能取決于所使用的產(chǎn)品型號(hào))。這種強(qiáng)大且功能齊全的圖形顯示特性將幫助用戶深入分析靈敏測(cè)量。

測(cè)量問題2：數(shù)顯儀器在 zui低有效位數(shù)時(shí)往往呈現(xiàn)出不穩(wěn)定現(xiàn)象，而且不會(huì)提供測(cè)量平均值和標(biāo)準(zhǔn)差信息。

解決方案 2: 您可以借助實(shí)時(shí)直方圖特性立即查看和評(píng)測(cè)數(shù)據(jù)分布

所有的低電平測(cè)量都會(huì)帶有統(tǒng)計(jì)不確定性，因?yàn)闇y(cè)量條件的微小波動(dòng)都會(huì)帶來(lái)測(cè)量結(jié)果的隨機(jī)變化。傳統(tǒng)的解決方法是借助直方圖對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行測(cè)試 (一般是在 PC 中)。然而，如果您需要執(zhí)行多次測(cè)量和測(cè)試設(shè)置調(diào)試，這個(gè)過程就會(huì)變得單調(diào)乏味。

B2980A系列的數(shù)據(jù)捕獲速度有多快？

測(cè)量速度一般由積分設(shè)置中的孔徑時(shí)間決定，通常與電源線性周期數(shù) (PLC) 成正比?？讖綍r(shí)間越短，效果越好，因?yàn)樽銐虻钠骄鶗r(shí)間可避免電源線噪聲對(duì)測(cè)量的影響。

然而由于傳統(tǒng)儀器的讀取速率相對(duì)緩慢，尤其在孔徑關(guān)閉后需要長(zhǎng)時(shí)間操作，因而不能捕獲快速瞬態(tài)信號(hào)。相比之下，具有快速讀取速率 (20,000 讀數(shù)/秒)和流線型系統(tǒng)架構(gòu)，操作時(shí)間大幅度縮短。因此即便是 zui低 PLC 設(shè)置，B2980A 系列中的數(shù)據(jù)采樣功能同樣適用，可捕獲更詳細(xì)的被測(cè)器件響應(yīng)。下面實(shí)例對(duì)比了傳統(tǒng)儀器和數(shù)據(jù)采樣功能。這一實(shí)例表明，能以 4 倍于傳統(tǒng)儀器的計(jì)時(shí)分辨率進(jìn)行數(shù)據(jù)捕獲，因?yàn)槠錅y(cè)量開銷較低。

與傳統(tǒng)儀器不同的是，提供實(shí)時(shí)自擴(kuò)展的直方圖顯示功能，用以不間斷地更新平均值和標(biāo)準(zhǔn)差，使您能迅速調(diào)試測(cè)量設(shè)置，避免了在測(cè)量后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的麻煩。直方圖可在儀表視圖中顯示，允許您對(duì)比直方圖上的累積數(shù)據(jù)與實(shí)時(shí)數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。注 : 直方圖支持的 zui大數(shù)據(jù)記錄數(shù)是 10 萬(wàn)。

解決方案 3: 提供電池供電型產(chǎn)品,可以消除電源線噪聲, 增強(qiáng)低噪聲測(cè)量性能。

交流電源線噪聲對(duì)測(cè)量靈敏度有著極大影響。通過集成一個(gè)或多個(gè) PLC，可將交流電源線噪聲對(duì)測(cè)量的影響降至 zui小。然而，憑借自身出色的噪聲性能也無(wú)法*消除噪聲 (除非使儀器*隔離)。由此，飛安表/皮安表和靜電計(jì)均提供電池供電型產(chǎn)品，使您能在沒有電源線噪聲的條件下進(jìn)行測(cè)量。正常工作條件下，兩款電池供電型的工作時(shí)間分別是 7 小時(shí) 和 5 小時(shí)，在電池電量低于 5% 時(shí)會(huì)自動(dòng)保存您的測(cè)量數(shù)據(jù)和測(cè)量設(shè)置信息。除了消除噪聲外，它們還為您帶來(lái)了便攜性優(yōu)勢(shì)，您可以在任何地方使用儀器。

本底噪聲有多低?

甚至在 PLC 積分時(shí)間為 0.1 的交流模式下，*設(shè)計(jì)仍能保證其電流測(cè)量性能遠(yuǎn)勝過傳統(tǒng)的皮安表和靜電計(jì)。下圖對(duì)比了多個(gè)儀器在相同測(cè)量條件下的電流測(cè)量噪聲電平。如圖所示，可以更快速地測(cè)量更低的噪聲，削弱了用戶在測(cè)量速度與精度之間權(quán)衡利弊的必要性。

三軸電纜優(yōu)于競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品的原因有哪些?

三軸電纜是微弱電流測(cè)量應(yīng)用的器件，生產(chǎn)廠商眾多。三軸電纜的絕緣層和內(nèi)護(hù)套之間還有一個(gè)半導(dǎo)體層，旨在 zui大限度地減少層間摩擦產(chǎn)生的摩擦電。因此，公司三軸電纜基本沒有受到電纜振動(dòng)的影響，能得到更精確、更穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。所有型號(hào)均配有一根 1.5 米的三軸電纜。

測(cè)量問題 4: 驗(yàn)證測(cè)量布線完整性是

實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量的關(guān)鍵, 這一功能是傳

統(tǒng)儀器所不具備的。

解決方案 4: 可選軟件及專用附件有助于降低布線復(fù)雜程度

在進(jìn)行靈敏測(cè)量時(shí)，布線的設(shè)計(jì)和連接也是用戶面臨的難題之一。引起測(cè)量噪聲或不穩(wěn)定性的因素有很多，譬如布線不合理、電纜質(zhì)量差或保護(hù)不當(dāng)；但是，透過這些因素來(lái)判斷測(cè)量夾具故障的根源并不容易。傳統(tǒng)儀器一般僅提供實(shí)踐指南，無(wú)法幫助用戶解決這類故障。相比之下，提供了測(cè)試設(shè)置完整性檢查功能，可離析由測(cè)試設(shè)置元素引起的噪聲，包括電纜、適配器、屏蔽室、測(cè)試艙等，然后在前面板圖形用戶界面上用表格形式顯示信息。如下圖所示，用戶使用測(cè)試設(shè)置完整性檢查功能，能夠比較無(wú)電纜連接的儀器與已連接多個(gè)設(shè)置元素的儀器的噪聲電平。通過對(duì)比不同的設(shè)置元素所引起的噪聲電平 (作為標(biāo)準(zhǔn)差)，用戶可以輕松判斷電纜及任意給定測(cè)量所需的其他設(shè)置元素的質(zhì)量。

沉淀時(shí)間相比傳統(tǒng)儀器要快多少?

在比較儀器的沉淀時(shí)間時(shí)，您需要了解每一臺(tái)儀器如何定義這項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。大部分傳統(tǒng)儀器將沉淀時(shí)間定義為一個(gè)信號(hào)穩(wěn)定到 zui終值的 10% 所需要的時(shí)間。但設(shè)置為 zui終值的0.1%。通過減少介電吸收(DA) 可獲得更快的沉淀時(shí)間 (建立精度為 0.1%)，即使在量程較低的地方也是如此。參見下圖。

具備創(chuàng)新的測(cè)量功能, 使初學(xué)者和有經(jīng)驗(yàn)的用戶都能充分利用其強(qiáng)大的測(cè)量功能

測(cè)量輔助功能可降低低電平測(cè)量難度

選擇適合低電平測(cè)量的量程和孔徑時(shí)間并不總是那么簡(jiǎn)單，因?yàn)檫@些設(shè)置受到目標(biāo)器件/樣本特征和測(cè)量條件 (噪聲、溫度、濕度等) 的影響。鑒于此，選擇測(cè)試設(shè)置對(duì)于初學(xué)者甚至有經(jīng)驗(yàn)的用戶都非常有挑戰(zhàn)性。好消息是，配置了各種測(cè)量輔助功能，以提高您的測(cè)量工作效率。

您通過導(dǎo)航鍵可以輕松地查找量程和孔徑時(shí)間(速度)參數(shù)。右欄顯示了導(dǎo)航鍵的工作原理。

"保存" 和 "調(diào)用" 鍵確保您不會(huì)丟失經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間的試錯(cuò)過程所得到的設(shè)置參數(shù)。

導(dǎo)航特性如何工作?

具有創(chuàng)新的測(cè)量導(dǎo)航功能，可幫助用戶優(yōu)化孔徑時(shí)間和量程。如下所示，導(dǎo)航特性使用三個(gè)預(yù)編程量程-孔徑時(shí)間曲線，覆蓋了大多數(shù)的邏輯組合。默認(rèn)情況下，測(cè)量 zui先使用 "常態(tài)" 曲線及適當(dāng)量程。但如果測(cè)量數(shù)據(jù)存在噪聲，則需按下"高分辨率" (Fine Res) 鍵，將設(shè)置切換為 "穩(wěn)態(tài)" 曲線。這將自動(dòng)延長(zhǎng)孔徑時(shí)間，降低噪聲。另外，如果您想要快速地進(jìn)行粗略測(cè)量，可將設(shè)置切換為 "快速" 曲線，這會(huì)節(jié)省測(cè)量時(shí)間。

借助導(dǎo)航特性中的預(yù)定義曲線，新手工程師和研究人員將能快速地進(jìn)行低電平測(cè)量，可以*不必費(fèi)心去選擇適當(dāng)?shù)目讖綍r(shí)間和量程。如果在執(zhí)行某個(gè)特定類型測(cè)量時(shí)需要定制設(shè)置，有經(jīng)驗(yàn)的用戶能夠覆蓋這些曲線，然后啟用儀器的純手動(dòng)模式。

免費(fèi)的 PC 軟件及多個(gè)接口選件提供靈活的遠(yuǎn)程控制

圖形用戶界面?？焖?IV 軟件通過多個(gè)常用接口與 B2980A 系列進(jìn)行通信: LAN、GPIB (連接 zui多 4 個(gè) B2980A 系列產(chǎn)品) 和 USB (連接 1 個(gè) B2980A 系列產(chǎn)品)。該軟件的功能與 B2980A 系列的前面板相差無(wú)幾，并且還能自動(dòng)將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)出為 Microsoft Excel 表格，在 PC 上進(jìn)行進(jìn)一步分析。Web 界面嵌入到每一臺(tái)儀器，僅通過 PC 上的 LAN 接口訪問。

快速 IV 測(cè)量軟件還支持其他的 B2900A 精密儀器 (B2900A 系列電源 / 測(cè)量單元和 B2960A 系列低噪聲電源)。

即插即用儀器驅(qū)動(dòng)程序簡(jiǎn)化了編程

用戶想要?jiǎng)?chuàng)建定制軟件，可使用 B2980A系列的 IVI-C和IVI-COM驅(qū)動(dòng)程序，或者在美國(guó)國(guó)家一起公司的網(wǎng)站上下載驅(qū)動(dòng)程序。

公司 B2900A 系列

B2980A 系列是 B2900 精密儀器系列的新成員。B2900 系列可提供多種精密電源和測(cè)量解決方案。B2900A 系列電源/測(cè)量單元(SMU) 具有 6.5 位分辨率，可支持 100 nV/10 fA 電源和測(cè)量功能。B2960A 系列低噪聲電源具備 6.5 位電壓源/電流源分辨率和10?μVrms 本底噪聲。B2900A 系列 SMU 和 B2960A 系列電源的輸出范圍均是 ± 210 V 和 ± 3 A (直流) 或 ±10.5 A (脈沖)，并采用相同的彩色 LCD 圖形用戶界面。有關(guān) B2900 精密儀器系列的更多信息，

高性能附件和效能工具 (可選) 的兼容性表

產(chǎn)品	飛安表/皮安表		靜電計(jì)/高阻計(jì)
產(chǎn)品	B2981A	B2983A	B2985A	B2987A
16494A 三軸電纜(0.4、0.8、1.5、3、4 米)	? (含 1.5 米電纜)	? (含 1.5 米電纜)	? (含 1.5 米電纜)	? (含 1.5 米電纜)
N1413A 高阻計(jì)夾具適配器			?	?
N1414A 高值電阻測(cè)量通用適配器			?	?
16008B 電阻率電池			?	?
N1418A 鋰電池組		? (含)		? (含)
N1420A 適用于 B2980 系列的測(cè)試設(shè)置完整性檢查軟件 (軟件許可證)	?	?	?	?

材料表面/體積電阻率測(cè)定儀技術(shù)指標(biāo)和特征

技術(shù)指標(biāo)條件
溫度: 23 °C ± 5 °C
濕度: 30% 至 80% 相對(duì)濕度
1 小時(shí)預(yù)熱后
環(huán)境溫度變化: 自校準(zhǔn)后為 ± 3 °C
校準(zhǔn)周期: 1 年
電流測(cè)量
量程		顯示分辨率	精度	自校準(zhǔn) ±?3°C 時(shí)的	測(cè)量沉淀
			±?(% + 偏差)	輸入內(nèi)阻壓降1	時(shí)間1, 2
2 pA	1 aA	1	+ 3 fA	20 μV	16 s
20 pA	10 aA	0.5	+ 3 fA	20 μV	1.4 s
200 pA	100 aA	0.2	+ 300 fA	20 μV	1.4 s
2 nA	1 fA	0.2	+ 500 fA	20 μV	13 ms
20 nA	10 fA	0.2	+ 5 pA	20 μV	13 ms
200 nA	100 fA	0.1	+ 50 pA	20 μV	1.2 ms
2 μA	1 pA	0.05	+ 50 pA	20 μV	550 μs
20 μA	10 pA	0.05	+ 500 pA	20 μV	600 μs
200 μA	100 pA	0.05	+ 5 nA	100 μV	600 μs
2 mA	1 nA	0.05	+ 50 nA	1 mV	100 μs
20 mA	10 nA	0.05	+ 500 nA	6 mV	100 μs
0 至 18°C 和 28 至 45°C 時(shí)的溫度系數(shù)			± (0.05 x 精度) /°C
補(bǔ)充特征
輸入內(nèi)阻壓降的溫度系數(shù)			在 pA、nA 和 μA 量程內(nèi), < 10 μV/°C
有效值噪聲			2 pA 量程為 140 aA, 10 s 持續(xù)時(shí)間, 無(wú)電纜, 開帽
NMRR3			> 60 dB
zui大輸入電容			20 μA 量程以下為 10 nF, 其他量程內(nèi)為 1?μF

注

條件 : 適當(dāng)調(diào)零, 6? 位, 1 臺(tái) PLC, 中值濾波器接通, 移動(dòng)平均值是 10 點(diǎn)

補(bǔ)充特征

zui終值的 0.1 %

常模抑制比，積分時(shí)間 = 1, 2, …, 100 PLC；電源線頻率 ± 0.1%

電阻測(cè)量
量程	顯示分辨率	精度 ±(% + 偏差)1, 2	自動(dòng)電壓源	電流量程
1 MΩ	1 Ω	0.135+1 Ω	20 V	200 μA
10 MΩ	10 Ω	0.135+1 0Ω	20 V	20 μA
100 MΩ	100 Ω	0.185+1 00Ω	20 V	2 μA
1 GΩ	1 kΩ	0.285+ 1 kΩ	20 V	200 nA
10 GΩ	10 kΩ	0.285+ 1 0kΩ	20 V	20 nA
100 GΩ	100 kΩ	0.41+ 100 kΩ	20 V	2 nA
1 TΩ	1 MΩ	0.45+ 1 MΩ	200V	2 nA
10 TΩ	10 MΩ	0.625+ 10MΩ	200 V	200 pA
100 TΩ	100 MΩ	0.75+ 100MΩ	200 V	20 pA
1 PΩ	1 GΩ	2.6+ 1 GΩ	200 V	2 pA
0 至 18°C 和 28 至 45°C 時(shí)的溫度系數(shù)		± (0.1 x 精度) /°C

注

條件: 自動(dòng)電壓源歐姆, 適當(dāng)調(diào)零, 6? 位, 1 臺(tái) PLC, 中值濾波器接通, 數(shù)字濾波器 = 10 個(gè)讀數(shù)

在手動(dòng)模式下, 根據(jù)特定的源電壓和被測(cè)電流, 可以算出電阻。測(cè)量精度由電壓源精度和電流表精度決定, 如下: 測(cè)量誤差 = R 讀數(shù) x (電壓 % 誤差 + 電壓偏置誤差/電壓 + 電流測(cè)量 % 誤差 + 10 x 電流測(cè)量偏置誤差/電流量程)

自動(dòng)模式和手動(dòng)模式的電流量程是: 電流量程的 10% ≤ 被測(cè)電流 ≤ 電流量程的 99%

電壓測(cè)量
量程	顯示分辨率	精度±（%+偏差）
2V	1 μV	0.025 + 40 μV
20V	10 μV	0.025 + 400 μV
0 至 18°C 和 28 至 45°C 時(shí)的溫度系數(shù)		±?(0.05 x 精度) /°C

補(bǔ)充特征
輸入偏置電流	< 20 fA
輸入阻抗	> 200 TΩ, 并聯(lián) < 20 pF 電容 (無(wú)保護(hù)模式) 或 < 2 pF 電容(保護(hù)模式)
有效值噪聲	2 V 量程為 1.4 μV, 10 s 持續(xù)時(shí)間, 短路輸入
NMRR1	> 60 dB
CMRR2	> 140 dB, 直流時(shí); > 70 dB，50 Hz 或 60 Hz 時(shí)

注

條件：適當(dāng)調(diào)零，6? 位，1 臺(tái) PLC

常模抑制比, 積分時(shí)間 = 1, 2, ..., 100 PLC; 電源線頻率 ± 0.1 %

共模抑制比: 1 kΩ LO 引線不平衡電阻。給 PLC 積分時(shí)間增加 NMRR

電荷測(cè)量
量程	顯示分辨率	精度1±（%+偏差）
2 nC	1 fC	0.4 + 50 fC
20 nC	10 fC	0.4 + 500 fC
200 nC	0.1 pC	0.4 + 5 pC
2 μC	1 pC	0.4 + 50 pC
0 至 18°C 和 28 至 45°C 時(shí)的溫度系數(shù)	±(0.1 x 精度) /°C

注：

條件：適當(dāng)調(diào)零, 6? 位, 1 ms 孔徑,技術(shù)指標(biāo)在電荷收集 1 至 10 ms 內(nèi)有效。

對(duì)于 NULL 和測(cè)量的時(shí)間間隔, 精度技術(shù)指標(biāo)增加了 6 fC/s

電壓源
電源量程	顯示分辨率	精度 ±?(% + 偏差)	輸出電流11	輸出噪聲2	建立到額定精度所需的時(shí)間1,3
20 V	700 μV	0.05 + 2 mV	± 20 mA	55 μVp-p	200 μs
				(0.1 Hz 至 10 Hz
				1.6 mVrms
				(10 Hz 至 20 MHz)
1000 V	35 mV	0.05 + 100 mV	± 1 mA	2.6 mVp-p	5 ms
				(0.1 Hz 至 10 Hz)
				3.0 mVrms
				(10 Hz 至 20 MHz)
0 至 18°C 和 28 至 45°C 時(shí)的溫度系數(shù)		±?(0.05 x 精度) /°C
電源功能		直流、掃描 (線性單掃描、線性雙掃描、列表掃描)、ARB (方波)

注

補(bǔ)充特征

10 Hz 至 20 MHz: 補(bǔ)充特征

開路負(fù)載

溫度測(cè)量(熱電偶)
溫度傳感器	量程	精度 ±?(% + 偏差)1	單位
K 型熱電偶	- 25 °C 至 150 °C	0.2% + 2 °C	°C, °F?和 K
濕度傳感器中的溫度探頭2	- 40 °C 至 80 °C	0.5 °C	°C, °F 和 K

注：

不包含熱電偶的熱電偶精度, 包含濕度傳感器的溫度探頭精度

支持的濕度傳感器: E+E Electronik 的 EE07 數(shù)字溫濕度探頭

溫度測(cè)量
量程	精度1
0 % 至 99%	2 % 相對(duì)濕度 (0 % 至 90 % 相對(duì)濕度) 3 %相對(duì)濕度 (90 % 至 99% 相對(duì)濕度)
連接器	2.5 mm 插拔式接線端子, 5 針 (與 Phoenix Contact 1881354 匹配)
支持的傳感器	E+E Electronik 的 EE07 數(shù)字溫濕度探頭

注：

包含傳感器精度

測(cè)量緩沖區(qū)和速度
讀數(shù)緩沖區(qū)		100,000
補(bǔ)充特征
測(cè)量速度和性能
		讀取速率	附加噪聲誤差
	積分時(shí)間1	至緩沖區(qū)	至 GPIB	電流測(cè)量	電壓測(cè)量
	100 PLC/2 s	0.5 讀數(shù)/秒	0.5 讀數(shù)/秒	0 % 量程	0 % 量程
	10 PLC/200 ms	5 讀數(shù)/秒	5 讀數(shù)/秒	0 % 量程	0 % 量程
	1 PLC/20 ms	49 讀數(shù)/秒	49 讀數(shù)/秒	0.01% 量程	0 % 量程
	0.1 PLC/2 ms	500 讀數(shù)/秒	490 讀數(shù)/秒	0.03% 量程	0.0005% 量程
	0.01 PLC/200 μs	4,500 讀數(shù)/秒	3,950 讀數(shù)/秒	0.06% 量程	0.001% 量程
	0.001 PLC/20 μs	20,000 讀數(shù)/秒	12,500 讀數(shù)/秒	0.1% 量程	0.004% 量程

注：

50 Hz, 固定量程

計(jì)時(shí)器和觸發(fā)功能
計(jì)時(shí)器	時(shí)間戳	在對(duì)每個(gè)測(cè)量進(jìn)行觸發(fā)時(shí), TIMER 值自動(dòng)保存
	分辨率	10 μs, 100 μs, 1 ms, 10 ms, 100 ms
	zui小測(cè)量間隔	10 μs, 與電源無(wú)關(guān)
	zui小電源間隔	100 μs, 與測(cè)量無(wú)關(guān)
	精度	± 50 ppm
	準(zhǔn)備/觸發(fā)時(shí)延	0 μs 至 100,000 s
	準(zhǔn)備/觸發(fā)間隔	10 μs (測(cè)量), 100 μs (電源) 至 100,000 s
	準(zhǔn)備/觸發(fā)計(jì)數(shù)	1 至 100,000 計(jì)數(shù)或無(wú)窮大
觸發(fā)1	觸發(fā)輸入至觸發(fā)輸出	≤ 5 μs
	觸發(fā)輸入至電源變化	≤ 200 μs
	觸發(fā)輸入至測(cè)量	≤ ± 20 μs
	內(nèi)部事件至外部 LXI 觸發(fā)	zui小值 100 μs, 典型值 200 μs, zui大未知數(shù)
	LXI 事件發(fā)送/接收延遲	未知數(shù)

注：

補(bǔ)充特征

電池供電型產(chǎn)品(B2983A/B2987A)
技術(shù)	內(nèi)置鋰電池, 包括集成的智能電池監(jiān)視器和充電器
容量	14.40 V / 6,600 mAh / 95.0 Wh
電池更換	用戶可更換
補(bǔ)充特征
典型工作時(shí)間1	7 小時(shí) (B2983A), 5 小時(shí) (B2987A); 當(dāng)電量低于 5% 時(shí), 儀器將自動(dòng)保存數(shù)據(jù)并關(guān)機(jī)
充電時(shí)間	使用交流電充電, 充滿電需要 7 小時(shí) (開機(jī)) 或 3.5 小時(shí) (關(guān)機(jī))
電池壽命	25 °C 時(shí), 在 300 次充放電之后, 容量不低于初始容量的 75 %

注：

1. 獨(dú)立, LCD 開啟, 輸入打開, 輸出關(guān)閉, 自動(dòng)觸發(fā) 2 μA 固定量程

測(cè)量控制/導(dǎo)航
測(cè)距	自動(dòng)或手動(dòng)
孔徑時(shí)間（積分時(shí)間）	10 μs 至 100 PLC
偏置消除	Null, 零位校正
數(shù)字濾波器	中值濾波器 (2R + 1, R = 1 至 15), 移動(dòng)平均值 (1 至 100, 增幅為 1)
運(yùn)算	預(yù)設(shè)表達(dá)式和用戶定義表達(dá)式
統(tǒng)計(jì)	直方圖模式: 平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、bins 數(shù)目和樣本數(shù)
線路頻率檢測(cè)	自動(dòng)檢測(cè): 50 Hz 或 60 Hz
測(cè)量指標(biāo)器	"---" 表示沒有捕獲到數(shù)據(jù), "OVERFLOW" 表示超過量程的 105%, "0 Ω" 表示電阻測(cè)量當(dāng)前的測(cè)量溢出
前面板操作
前面板界面	4.3 英寸 TFT 彩色顯示屏 (16,000,000 色, 480 x 272 像素), 配有數(shù)字鍵盤和旋鈕
視圖模式	儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動(dòng)視圖
硬鍵	單次觸發(fā)和運(yùn)行/停止控制, 測(cè)量導(dǎo)航鍵 (Null、濾波、運(yùn)算、保存和調(diào)用), 旋鈕和光標(biāo), 電流表輸入和電壓源輸出控制, 取消/本地
功能鍵	功能, 系統(tǒng)和輸入輔助按鍵
指示燈	通道 (測(cè)量)狀態(tài)、系統(tǒng)狀態(tài)
LED燈	通電 (充電時(shí), 指示燈的顏色會(huì)變), 輸入/輸出 (高電壓時(shí), 指示燈的顏色會(huì)變), 電池狀態(tài) (B2983A、B2987A)
應(yīng)用功能鍵	測(cè)試設(shè)置完整性檢查 (可選), 數(shù)據(jù)記錄儀, 演示幻燈片, 關(guān)于 B2987A

輸入/輸出技術(shù)指標(biāo)
儀表輸入連接器					"3 接線柱三同軸 (Three lug triaxial), 適用于后面板上的電流表 (B2981A、B2983A) 3接線柱三同軸, 適用于后面板上的電流表和電壓表 (B2985A、B2987A)"
防護(hù)					可切換的電壓表保護(hù) (B2985A、B2987A)
zui大輸入					電流表: 30 mA, 電壓表: 40 V
電源輸出連接器					后面板上兩個(gè)香蕉插座
zui大共模電壓					儀表共用: 500 V 峰值: 電壓源 1,000 V 峰值
隔離 (儀表共用至機(jī)箱)					> 10 GΩ, < 500 pF
模擬輸出					滿量程輸入為 2 V; 電壓和電流測(cè)量模式下, 非反相輸入; 1 kΩ 輸出阻抗
互鎖					2.5 mm 插拔式接線端子, 4 針 (與 Phoenix Contact 1881341 匹配)
外部觸發(fā)		觸發(fā)輸入			BNC
		邏輯			可編程邊沿觸發(fā)
		zui小脈沖寬度			10 μs
		觸發(fā)輸出			BNC
		邏輯			可編程邊沿觸發(fā)
		zui小脈沖寬度			BNC
輸入輸出技術(shù)指標(biāo)
數(shù)字I/O			連接器類型			DSUB陰頭9針
			輸入/輸出針			DIO針，±5V接地
			zui大輸入電壓			5.25V
			zui小輸入電壓			﹣0.25V
			zui大邏輯低輸入電壓			0.8V,使用5kΩ可增至5V
			zui小邏輯高輸入電壓			2.0V,使用5kΩ可增至5V
			zui大電流源			1mA，VO=0V時(shí)
			zui大吸收電流			50mA，VO=5V時(shí)
			5V電源針			限制在500mA，自恢復(fù)保險(xiǎn)絲保護(hù)
計(jì)算機(jī)接口
LXI(版本1.4)			10/100Base-T以太網(wǎng)（插座、VXI-11協(xié)議、HiSLIP、Web圖形用戶界面）
			USB2.0(USB-TMC488和MTP)
USB			USB主控制器位于前面，USB設(shè)備接口位于后面
			輕松訪問文件
GP-IB			IEEE-488.2
程序、軟件和驅(qū)動(dòng)程序
編程			SCPI
程序存儲(chǔ)器			100kB(1000行代碼，每行100個(gè)字符)
LIX標(biāo)準(zhǔn)			LXICore2011
可用軟件			快速I/V測(cè)量軟件，Web圖形用戶界面
可用驅(qū)動(dòng)程序			IVI-C/IVI-COM/LabVIEW驅(qū)動(dòng)程序
環(huán)境技術(shù)指標(biāo)
環(huán)境				用于室內(nèi)設(shè)施，無(wú)需空間
工作				0 °C 至 45 °C?(充電時(shí), 0 °C 至 35 °C), 相對(duì)濕度為 30 % 至 80 % (無(wú)冷凝)
存儲(chǔ)				﹣20 °C 至 60 °C, 相對(duì)濕度為 10 % 至 90 % (無(wú)冷凝)
海拔高度				工作: 0 至 2000 米, 存儲(chǔ): 0 至 4600 米
電源				90 V 至 264 V, 47 Hz 至 63 Hz, zui大值 80 VA
EMC				IEC61326-1/EN61326-1, AS/NZS CISPR 11，韓國(guó) : RRA Notification amending Radio Waves Act Article 58-2
安全性				IEC61010-1/EN61010-1, CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1-12, C/US
認(rèn)證				CE, cCSAus, RCM, KC
預(yù)熱				1小時(shí)
尺寸	運(yùn)輸箱			88 (2U) x 213 (半寬) x 348 毫米
	工作時(shí)			104 x 261 x 374 (含橡膠緩沖器)
重量	凈重			4.3 千克 (B2981A), 4.9 千克 (B2983A), 4.5 千克 (B2985A), 5.1 千克 (B2987A)
	裝運(yùn)重量			8.5 千克 (B2981A), 9.0 千克 (B2983A), 8.7 千克 (B2985A), 9.2 千克 (B2987A)

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