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EPIC離子/分子分析質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品簡介

A system for UHV analysis of neutrals, radicals and ions. Measures the ions, neutrals, and partial pressures in UHV/XHV.

詳細(xì)介紹

EPIC離子/分子分析質(zhì)譜儀(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是帶脈沖離子計(jì)數(shù)和四級(jí)桿偏壓控制的三級(jí)過濾四極質(zhì)譜儀，用于高精密科學(xué)分析，過程研究以及中性粒子、自由基、正負(fù)離子的UHV分析。

EPIC離子/分子分析質(zhì)譜儀可增加能量過濾器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器，升級(jí)至Hiden的Plasma/ SIMS系列EQP，EQS，PSM 和Maxim。

 

·6、9、12 mm 直徑的四極桿可選

·±100 eV離子能量分布，1000 eV可選

·離子源控制，以實(shí)現(xiàn)軟離子化及表觀電勢質(zhì)譜

·脈沖離子計(jì)數(shù)器，連續(xù)7個(gè)數(shù)量級(jí)動(dòng)態(tài)范圍，Faraday 選項(xiàng)為5x1010

·一級(jí)過濾處增加射頻，增強(qiáng)抗污染物能力

·信號(hào)選通分辨率0.1μs，用于能量、質(zhì)量分布隨時(shí)間變化或TOF研究中

·程序升溫脫附時(shí)，溫度數(shù)值同步顯示

·標(biāo)配UHV罩，液氮冷卻罩可選 

 ·MASsoft專業(yè)軟件控制

·可升級(jí)至Plasma/ SIMS 配置

 

·質(zhì)量數(shù)范圍：      1～300  amu（標(biāo)準(zhǔn)配置）

                           500、1000、2500 amu（選配）

·測量速度：         500 points/s

·分辨率：            0.1% Valley、1% Valley

·動(dòng)態(tài)范圍：         107

·檢測分壓：   5 X 10-15 mbar ，1X10-16 mbar

·離子能量：         ±100eV（標(biāo)準(zhǔn)配置）

                           ±1000eV（選配）

·信號(hào)選通分辨率：0.1µs

·穩(wěn)定性：            24h以上，峰高變化小于±0.5%

3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

關(guān)鍵詞：質(zhì)譜儀

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