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D07-19B 質(zhì)量流量控制器

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

更新時間:2022-08-02 11:17:25瀏覽次數(shù):3417次

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主要特點:

★高精度,快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭,標(biāo)準(zhǔn)機械接頭
★兼容
儀器簡介:


用 途:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
標(biāo) 準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V



技術(shù)參數(shù):

滿量程流量范圍(N2)

5SCCM30SLM

控制范圍

2100F.S.

閥類型(及閥初始狀態(tài))

電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)

準(zhǔn)確度

≤10SLM

±1F.S.

10SLM

±2F.S.

線性

≤10SLM

±0.51F.S.

10SLM

±2F.S.

重復(fù)精度

±0.2F.S.

響應(yīng)時間

4sec

工作溫度范圍

545

工作壓差

≤10SLM

0.10.5MPa

10SLM

0.10.3MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠

接頭選擇

VCR

1/4”φ4hose、φ6hose

Swagelok

1/8”1/4”φ3、φ6mm

電插頭形式

DB15 pin(Male)

抗電磁干擾

CE

重量

0.95Kg



主要特點:

★高精度,快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭,標(biāo)準(zhǔn)機械接頭
★兼容

 

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