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萊特萊德(北京)純水設(shè)備技術(shù)股份有限公司

超純水工藝在半導(dǎo)體清洗中的應(yīng)用

時(shí)間:2024-8-3閱讀:45

半導(dǎo)體是指在特定溫度和電壓下,其電導(dǎo)率介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料,具有多種物理和電學(xué)性質(zhì)。半導(dǎo)體的電導(dǎo)率與其摻雜的雜質(zhì)種類(lèi)、濃度和半導(dǎo)體晶體結(jié)構(gòu)有關(guān),在電子器件、光電器件、傳感器等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。例如,在計(jì)算機(jī)中,半導(dǎo)體芯片會(huì)用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)和執(zhí)行邏輯操作;在光電器件中,半導(dǎo)體光電二極管可以將光能轉(zhuǎn)換為電能,應(yīng)用于太陽(yáng)能電池、激光器、LED等器件中。

超純水1-2.jpg


半導(dǎo)體材料清洗會(huì)使用到超純水,這是為了充分保障半導(dǎo)體的物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不受顆粒物、金屬氧化物、灰塵污垢等雜質(zhì)的污染,以此來(lái)維持其良好的功能。超純水純度高,基本不含有除氫原子和氧原子之外的任何細(xì)菌、有機(jī)物、無(wú)機(jī)鹽等雜質(zhì),因而是清洗半導(dǎo)體的理想工具。

采用EDI超純水設(shè)備可以生產(chǎn)出質(zhì)量可靠穩(wěn)定的超純水,該設(shè)備主要采用了反滲透+EDI+拋光混床技術(shù),能根據(jù)不同用戶(hù)對(duì)水質(zhì)的不同需求定制設(shè)計(jì)。它具有出水水質(zhì)穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)便、運(yùn)行成本低、綠色環(huán)保、易于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn),具體表現(xiàn)為:

1.采用靶向離子交換系統(tǒng),可以針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除;

2.膜系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)帶電荷運(yùn)行,離子遷移速度更快,脫鹽效果更優(yōu);

3.采用了PLC智能化程序,能靈活進(jìn)行操作,人力投入節(jié)約;

4.系統(tǒng)運(yùn)行無(wú)污染物析出,系統(tǒng)內(nèi)無(wú)死水;

5.采用了新型均粒樹(shù)脂包填充,高頻電子極板形成強(qiáng)電場(chǎng)運(yùn)行環(huán)境,大幅提高脫鹽率。

該設(shè)備能夠?qū)⑺泻械奈⑸铩⒔饘匐x子、礦物質(zhì)等成分充分去除,確保生產(chǎn)出的超純水純度,用于清洗半導(dǎo)體不會(huì)造成污染。


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