由于半導(dǎo)體相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)周期長(zhǎng)、技術(shù)要求高，企業(yè)必須制定一套長(zhǎng)期戰(zhàn)略。某些領(lǐng)域的一些公司競(jìng)相開發(fā)先進(jìn)技術(shù)，在半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)上展開競(jìng)爭(zhēng)。為了進(jìn)一步推動(dòng)數(shù)字革命，我們需要更強(qiáng)大的計(jì)算和存儲(chǔ)能力。換言之，便是更先進(jìn)的半導(dǎo)體，制造更先進(jìn)的半導(dǎo)體的基礎(chǔ)就是用更高的水質(zhì)，因此超純水已經(jīng)成為企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的制勝法寶。

　　超純水(UPW)是指電阻率達(dá)到18 MΩ·cm(25℃)的水。這種水中除了H2O外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)或其他離子。超純水可以分為國(guó)標(biāo)《電子級(jí)水》和美標(biāo)《電子和半導(dǎo)體超純水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程中，幾乎每道工序需要超純水進(jìn)行清洗，可見超純水在半導(dǎo)體行業(yè)的重要性。

　　傳統(tǒng)的超純水處理方式為離子交換樹脂，其工藝流程為：

　　原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)床→陰床→混床( 復(fù)床) →純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)

　　但是傳統(tǒng)工藝缺點(diǎn)是浪費(fèi)資源、需要酸堿再生，且不環(huán)保。為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量，超純水設(shè)備在工藝設(shè)計(jì)上，取自來(lái)水為原水，再設(shè)有介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(edi電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。

　　超純水設(shè)備具有良好的應(yīng)用價(jià)值，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，在一定程度上可以有效地達(dá)到我國(guó)電子水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，與傳統(tǒng)工藝相比，具有自動(dòng)化程度高，過(guò)程易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)。

　　制造半導(dǎo)體需要大量的水，水資源管理對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)至關(guān)重要。因此，隨著人們需求的不斷增長(zhǎng)，超純水成為了半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重中之重，對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展也具有重要意義。