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　　集成電路超純水設備工藝技術

　　超純水設備的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使?jié)B透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開。

　　超純水設備的優(yōu)勢：

　　經過超純水設備的水是除了水分子外幾乎無其他雜質的，它相對于的其他的純水設備有著更好的出水效果。超純水設備屬于高科技綠色環(huán)保技術。環(huán)保特性好，操作使用簡便，愈來愈多地被人們所認可，也愈來愈多地在電子、電力、化工等行業(yè)得到推廣。超純水設備在純凈水期間采用了預處理、超濾、微濾、反滲透、常規(guī)混床、EDI、核能極精拋光混床等工藝流程。

　　超純水設備具有連續(xù)運行性，不需要再生產;結構緊湊、管理分布合理、簡單;無酸堿處理，節(jié)能環(huán)保;采用潔凈循環(huán)管道，確保系統內無死水。

　　集成電路超純水設備工藝技術

　　對模塊的進水水質進行檢驗，如余氯或其他氧化劑。進水水質需符合進水指標。若進水硬度大于0.5ppm，又或是其他進水指標達不到要求而運行的話，會損壞模塊。這時就要采取定期用酸清洗或是濃水管道軟化的辦法若EDI超純水設備有加鹽泵系統，那么對鹽的成分和質量須仔細檢查和嚴格要求，用鹽指標可參考用戶手冊。若長期用不達標的鹽會對膜造成損傷。