很多的多晶硅上面審查需要對超純水系統(tǒng)進行很多方面不了解這個問題，接下來艾柯純水處理設備生產(chǎn)廠家?guī)Т蠹伊私庖幌逻@個問題。
在多晶硅超純水設備中主要是用于多晶硅片的清洗清理，多晶硅片以及半導體設備的生產(chǎn)都需要用到須經(jīng)嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電,顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。
純化水設備
超純水設備是指采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備，用于制取超純水的機器，超純水最初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為去離子水。
通過以上的介紹是不是了解了多晶硅超純水設備有什么用了，多晶硅超純水設備系統(tǒng)穩(wěn)定度強，具有精度高，體積小、重量輕、功耗低等特點。
