JOXTEC數(shù)顯高精度烤膠臺/加熱臺/電熱板被設(shè)計(jì)為控溫精度良好，較高的熱均勻性，簡單實(shí)用型烤膠機(jī)。升溫速度快，由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制，長壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱，高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。適合用于對各種控溫精度高，熱均勻性要求較高場合

詳細(xì)介紹

JOXTEC數(shù)顯高精度烤膠臺/加熱臺/電熱板HP20/HP30/HP40/HP50

光刻膠烘焙裝備的選擇
 光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工工藝的重要構(gòu)成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長膠層與硅片表面粘附能力，提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度，通常接納烘箱或者加熱板等加熱裝備對光刻膠舉行干燥。烘箱加熱由于速率慢、且加熱易造成表面以及內(nèi)部受熱不均勻，效驗(yàn)欠佳！而熱板易于到達(dá)在膠的厚度標(biāo)的目的且快速均勻烘焙等要求，今朝越來越多地接納熱板加熱的方式。
所以烤膠機(jī)的表面溫度均勻性、溫度控制精疏密程度、溫度上升速率等是選擇烤膠機(jī)的首要性能指標(biāo)思量。

采用高精度溫度控制器，PID控制，解析度0.1℃

14bit的A/D轉(zhuǎn)換分辨率，0.2%FS的顯示精度，取樣時(shí)間250ms,可手動補(bǔ)償PV顯示值(PVOS)。內(nèi)建Autozero-Autospan功能，自動校正零點(diǎn)及斜率，使顯示精度不因長時(shí)間而劣化。

自動演算(AT)：使用自動演算功能，可自動算出系統(tǒng)*佳化的PID參數(shù)數(shù)值。當(dāng)自動演算進(jìn)行中，PV會上下震動1~2個(gè)周期。為保護(hù)使用者的設(shè)備?？稍O(shè)定自動演算偏移量(ATVL)，使PV在數(shù)值較低處震蕩，有效避免沖溫效應(yīng)。

導(dǎo)熱性能優(yōu)良的合金盤面

經(jīng)過多次實(shí)驗(yàn)和測試，公司研發(fā)出導(dǎo)熱性能優(yōu)良且具有較高強(qiáng)度的合金盤面。保證了盤面加熱溫度的均勻性。并且長時(shí)間使用不會變形，平整如初！

加熱元件的均勻排布

公司利用有限元熱分析方法對加熱板盤面溫度均勻性進(jìn)行了分析，經(jīng)多次模擬分析和調(diào)整，加熱結(jié)構(gòu)，優(yōu)化設(shè)計(jì)出了滿足加熱板盤面溫度均勻性可達(dá)*要求的加熱元件排布方式，并以此為主要依據(jù)完成了整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。目前加熱板升溫速度快，盤面溫度均勻，加熱元件耐用。

HP系列烤膠機(jī)被設(shè)計(jì)為控溫精度良好，較高的熱均勻性，簡單實(shí)用型烤膠機(jī)。

HP烤膠機(jī)升溫速度快，由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制，長壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱，高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

數(shù)顯高精度烤膠臺/加熱臺/電熱板 產(chǎn)品特性:

1、可同時(shí)顯示設(shè)定溫度與實(shí)際溫度

2、板面采用鋁合金一體成型，導(dǎo)熱率良好，加熱絕不變形。

3、陽極硬質(zhì)氧化鋁面板及噴砂處理，具有量好的耐磨、耐酸堿特性。

4、外殼為不銹鋼材質(zhì)制成

5、溫度控制：高精度微電腦PID自動控制，LED數(shù)字顯示。

6、溫度范圍：室溫～300℃ 盤面均勻度佳。

7、可溫度校正，保證顯示溫度與實(shí)際溫度的*性。

8、真空吸附機(jī)型HPV系列

產(chǎn)品外型尺寸：面板尺寸可根據(jù)要求定制

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格：

型式	HP15	HP20	HP30	HP40	HP60
溫度范圍	300℃（其他溫度定制）
外觀尺寸(WxLxH)	150x150x140mm	200x200x140mm	300x300x140mm	400x400x150mm	300x600x130mm
電熱	700W	800W	1500W	3000W	3000W
電壓	220V	220V	220V	220V	220V
電流	3A	4A	7A	15A	約15A
溫度控制穩(wěn)定度	溫度分辨率：0.1℃ 控溫精度：±0.2℃ 溫度均勻性：＜±1.5%
附件	1、附計(jì)時(shí)功能99小時(shí)59分（選配） 2、程序控溫