緊湊的結(jié)構(gòu)；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)；高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用；可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試；精密絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)；無(wú)回程差設(shè)計(jì)；1微米以上電極/PAD測(cè)試；VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長(zhǎng)/光功率測(cè)試；VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測(cè)試；器件的高頻特性測(cè)試

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特性

1. 緊湊的結(jié)構(gòu)

2. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)

3. 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用

4. 可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

5. 精密絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

6. 無(wú)回程差設(shè)計(jì)

7. 1微米以上電極/PAD測(cè)試

8. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長(zhǎng)/光功率測(cè)試

9. VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測(cè)試

10. 器件的高頻特性測(cè)試

主要技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)			LS-WPS100-SE	LS-WPS150-SE	LS-WPS200-SE	LS-WPS300-SE
外形			580mm長(zhǎng)* 620mm寬* 730mm高	600mm長(zhǎng)* 700mm寬* 730mm高	660mm長(zhǎng)* 660mm寬* 700mm高	1030mm長(zhǎng)* 820mm寬* 730mm高
重量			約70公斤	約80公斤	約85公斤	約180公斤
電力需求			220VC, 50~60Hz
樣品臺(tái)		尺寸	4英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
		X-Y行程	4*4英寸	6*6英寸	8*8英寸	12*12英寸
		Z軸行程	6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)）
		移動(dòng)精度	10um/1um
		樣品固定方式	真空吸附
		背電極測(cè)試功能	有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空
針座平臺(tái)			U型平臺(tái)，多可放置6個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置8個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置10個(gè)針座	U型平臺(tái)，多可放置12個(gè)針座
光學(xué)特性	顯微鏡行程		X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
	顯微鏡移動(dòng)精度		1um
	切換鏡頭方式		顯微鏡快速傾仰30度
	放大倍數(shù)		16~100X/20~4000X
	鏡頭規(guī)格		目鏡：10X；物鏡：5X，10X，20X，50X，100X（選配）
	CCD像素		50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點(diǎn)針規(guī)格	X-Y-Z行程		12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	機(jī)械精度		10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏電精度		10pA/100fA（配置屏蔽箱時(shí)）
	接口形式		香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口
應(yīng)用方向			VCSEL芯片及LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試等。