旋風等離子清洗機

• 操作方法：自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)順序執(zhí)行；亦可手動操作。            
• 等離子傳感器：雙等離子強度傳感器（申請中）監(jiān)測現(xiàn)場等離子源和遠程等離子源。等離子強度實時顯示在LCD觸摸屏上。            
• *工藝控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。            
• 腔體材料：鋁法蘭，石英腔體
• 石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm；外徑120mm；深度280mm            
• 樣品架：2mm厚高純度石英板            
• 旋風等離子清洗機射頻天線：外部射頻電極和天線設計減少了內(nèi)部金屬電極在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題。            
• 射頻功率：13.56mhz高頻射頻電源，自動原位等離子體源的阻抗匹配。射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt。13.56MHz的射頻電源產(chǎn)生比兆聲電源產(chǎn)生高濃度等離子體。            
• 工藝氣路：高達三個質量流量控制氣體輸入（0 ~ 100sccm）。一個額外的排氣口。¼英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。            
• 用戶界面：7寸電阻式觸摸屏，觸摸的手指，沒有手寫筆的要求。            
• 軟件：總共20個可定制的配方。每個工藝多達三個清理步驟。