測量顯微鏡多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能

STM7系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被*消除，以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

STM7-LF FEM 分析

為了進(jìn)一步保證測量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達(dá)亞微米水平，同時(shí)確保大程度地降低誤差。

主動(dòng)反射，共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為首成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性 

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

• 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。 
        

• 目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。 
        

• 由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測量。

STM7解決方案

• 共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會(huì)適合您要測量的樣品。 
        

• 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。 
        

• 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。