在近代物理學中，等離子體為一種較為普通的概念，為在一定程度上被電離(電離度比0.1%要大)的一種氣體，其中陽離子與電子的濃度處于平衡狀態(tài)，從宏觀上來講，是一種呈電中性的物質。
利用電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，通過處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線分析待測元素的儀器，被稱為電感耦合等離子發(fā)射光譜儀。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的原理如下
高頻電磁場在矩管外高頻線圈產生，在高頻電磁場中，高純氬氣失去電子，該電子對待測樣品進行轟擊，樣品的各元素發(fā)生躍遷，具有一定的特征譜線的光被發(fā)射出來。
這種特征譜線利用檢測器探測出來，并且其強度也被檢測出來，該元素能夠被定性分析以及該元素的濃度能夠被定量計算。
樣品的各元素產生躍遷，發(fā)射出具有一定的特征譜線的光。通過檢測器探測這種特征譜線并檢測其強度，可以定性分析元素和定量計算該元素的濃度。
電感耦合等離子體為通過高頻電流從感應線圈經過使得高頻電磁場產生，從而使工作氣體形成等離子體，并且火焰狀放電(等離子體焰炬)呈現(xiàn)出來，溫度達到10000K時，為一個具有良好的蒸發(fā)-原子化-激發(fā)-電離性能的光譜光源。
而且因為這種等離子體焰炬的結構呈環(huán)狀，對于從等離子體zhong心通道進樣并且使得火焰維持穩(wěn)定具有積極的作用;較低的的載氣流速(比1升/分低)就能夠將ICP穿透，如果在zhong心通道使樣品停留2-3毫秒的時間，能夠蒸發(fā)、原子化。
和任何火焰或電弧火花的溫度相比較，ICP環(huán)狀結構的zhong心通道的溫度都要更高，為原子、離子的激發(fā)溫度，在中心通道內，分析物被間接加熱，對ICP放電性質有著較小的影響。
ICP光源又是一種光薄的光源，有著較小的自吸現(xiàn)象，并且是無電極放電，無電極沾污。這些特點使ICP光源的分析性能非常好，和一個理想分析方法的要求相符合。
