在ICP－MS中，產(chǎn)生的1000，000個離子中，只有1個能夠最終到達檢測器，這是由于每級的效率決定的，在這樣低效率的傳輸下，去除各種干擾就變得更加重要了，離子鏡的主要目的是去除電子和中性微粒的影響，并對正電子實現(xiàn)聚焦。離子鏡的結構如下圖所示。

當離子從截取錐噴出時，在進入離子鏡之前，能量較小的離子會更多的被真空抽走。

等離子體首*入的是截取透鏡（extraction lens），截取透鏡具有很強的負電勢，所以電子無法通過，被真空抽走。在后面是幾級離子聚焦透鏡，離子聚焦透鏡的原理是：安裝兩個電極板或圓筒，在兩個電極之間形成了透鏡狀的等場強線，當邊緣離子入射到電場時，受電場影響，向中心移動，隨后出射運動方向又恢復到了向前，實現(xiàn)了位置上的聚焦。ICP－MS在產(chǎn)生離子的同時，也產(chǎn)生大量光子，由于光子也可以被檢測器檢測和計數(shù)，所以在離子透鏡的末端，是一個偏轉透鏡，用于去除光子干擾。(一般來講，采樣錐離子流為0.1A，截取錐電流為1mA)

在ICP－MS6880中，透鏡組如下圖：

接口錐后配備2個提取透鏡。

2個提取透鏡電壓可分別調(diào)節(jié)電壓，可以實現(xiàn)軟提取、硬提取、浸透式提取等，多種提取模式，提升各種復雜基體的分析能力.

樣品通過離子源離子化，形成離子流，通過接口進入真空系統(tǒng)，在離子鏡中，負離子、中性粒子以及光子被攔截，而正離子正常通過，并且達到聚焦的效果。在分析器中，儀器通過改變分析器參數(shù)的設置，僅使我們感興趣的核質比的元素離子順利通過并且進入檢測器，在檢測器中對進入的離子個數(shù)進行計數(shù)，得到了最終的元素的含量。

ICP－MS6880電感藕合等離子體質譜主要結構

ICP－MS是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，可以測量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素。廣泛應用于半導體、地質、環(huán)境以及生物制藥等行業(yè)中。

ICP－MS全稱是電感藕合等離子體質譜，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。

質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。

ICP－MS的發(fā)展已經(jīng)有20年的歷史了，在長期的發(fā)展中，人們不斷的將新的技術應用于ICP－MS的設計中，形成了各類ICP－MS。ICP－MS主要分為以下幾類：四極桿ICP－MS，高分辨ICP－MS（磁質譜），ICP－tof－MS。本文主要介紹四極桿ICP－MS。

                                                            圖1是ICP－MS的主要組成模塊。

樣品通過離子源離子化，形成離子流，通過接口進入真空系統(tǒng)，在離子鏡中，負離子、中性粒子以及光子被攔截，而正離子正常通過，并且達到聚焦的效果。在分析器中，儀器通過改變分析器參數(shù)的設置，僅使我們感興趣的核質比的元素離子順利通過并且進入檢測器，在檢測器中對進入的離子個數(shù)進行計數(shù)，得到了最終的元素的含量。