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4軸機(jī)械臂防水式4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

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更新時(shí)間：2024-06-12 09:08:31瀏覽次數(shù)：134次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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防水4軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn)：防水4軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂STWCR4000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)）能夠在酸性

詳細(xì)介紹

防水4軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn)：

防水4軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂STWCR4000系列（配備300 mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)）

能夠在酸性，堿性霧氣環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：160 mm、200 mm

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈

零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條

Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管

雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線(xiàn)加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶(hù)設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指

防水4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：