滾筒式納米壓印機(jī)uniA6 DT

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滾筒式機(jī)UNIA6DT滾筒式納米壓印機(jī)HoloPrintuniA6DT是一種負(fù)擔(dān)得起的、便攜的、易于使用的桌面設(shè)備，用于實(shí)驗(yàn)室尺度的納米壓印光刻工作

詳細(xì)介紹

滾筒式機(jī)UNIA6 DT

滾筒式納米壓印機(jī)HoloPrint uniA6 DT是一種負(fù)擔(dān)得起的、便攜的、易于使用的桌面設(shè)備，用于實(shí)驗(yàn)室尺度的納米壓印光刻工作。這款滾筒式納米壓印機(jī)是快速成型、測(cè)試和表征結(jié)構(gòu)性能、光固化樹脂和印跡材料的設(shè)備。典型的應(yīng)用范圍包括印刻、芯片實(shí)驗(yàn)室、衍射光學(xué)元件和其他納米印刻結(jié)構(gòu)。HoloPrint®uniA6 DT在其自身的保護(hù)環(huán)境中工作，因此，潔凈室所需的投資可以分配到其他地方。

滾筒式納米壓印機(jī)HoloPrint®uniA6 DT是由Stensborg公司的工程師開發(fā)的，與占行業(yè)主導(dǎo)地位的傳統(tǒng)納米壓印工具相比，它是一種體積更小、成本更有競(jìng)爭(zhēng)力的輥-板壓印機(jī)。

由于有接觸區(qū)，我們的輥到板零工藝?yán)每烧{(diào)的壓印力，以大限度地減少材料收縮，同時(shí)減少氣泡問(wèn)題。我們的zuanli NIP工藝也降低了對(duì)基材一致性的需求，從而降低了成本，提高了成品率。

這款桌面式納米壓印機(jī)NIL不僅具有很好的性價(jià)比，而且呈現(xiàn)出很高的生產(chǎn)潛能。據(jù)測(cè)量這款納米壓印的的產(chǎn)量高達(dá)60片/晶圓每小時(shí)。

原型設(shè)計(jì)研發(fā)的理想設(shè)備

滾筒式納米壓印機(jī)HoloPrint uniA6 DT支持“快速失敗"哲學(xué)思想，這將加速您的開發(fā)過(guò)程周期。通過(guò)快速測(cè)試新設(shè)計(jì)，它允許開發(fā)周期的快速迭代，因此，它是原型設(shè)計(jì)的設(shè)備。它使您能夠試驗(yàn)和測(cè)試許多壓印技術(shù)，正確類型的光固化樹脂，以及處理參數(shù)，如壓力，速度，和光強(qiáng)度，以表征重要的參數(shù)，然后規(guī)?；a(chǎn)。因此，通過(guò)更少的迭代，您將能夠在內(nèi)部構(gòu)建原型，并節(jié)省時(shí)間和資源。

的光引擎

大約十年前，我們的光引擎采用了發(fā)光二極管，用于大批量生產(chǎn)，以取代體積龐大的UV氣體放電管式光引擎。光引擎是HoloPrint uniA6 DT的重要組成部分，因?yàn)樗峁└叨染劢沟墓庾幽芰?，通過(guò)在可光固化樹脂中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，使樹脂從彈性狀態(tài)變?yōu)樗苄誀顟B(tài)，從而在滾輪咬合中進(jìn)行固化。我們?yōu)榈墓鈱W(xué)引擎設(shè)計(jì)申請(qǐng)了zuanli，使我們的HoloPrint uniA6 DT體積更小，成本更低。該壓印機(jī)包括zuanli的光學(xué)引擎，其中包括具有被動(dòng)冷卻功能的長(zhǎng)壽命395nm發(fā)光二極管(LED)，以及可選的內(nèi)置水冷卻功能，以滿足極限曝光要求。

規(guī)格參數(shù)

zui大壓印尺寸:105x148mm (WxL)，襯底厚度可達(dá)8mm
復(fù)制速度:每小時(shí)60次手動(dòng)復(fù)制(速度可達(dá)6米/分鐘)
兩種輸出:輥到印版和輥到箔片操作
光學(xué)固化引擎:長(zhǎng)壽命395nm LED，在6m/min時(shí)可達(dá)100mJ/cm2
設(shè)備尺寸和重量:670x380x320mm (LxWxH)， 26kg

關(guān)鍵詞：芯片