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DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)

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更新時(shí)間：2024-02-12 15:20:57瀏覽次數(shù)：232次

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無(wú)掩膜SmartPrint無(wú)掩膜光刻機(jī)SMARTPRINTUV是一種基于DMD投影技術(shù)的設(shè)備，可兼容多種電阻和基片

詳細(xì)介紹

無(wú)掩膜SmartPrint


無(wú)掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的設(shè)備，可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀，而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù)，投影出具有微米分辨率的圖像，無(wú)掩膜光刻機(jī)SmartPrint無(wú)需任何進(jìn)一步步驟，就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無(wú)掩膜光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是微流體，生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。


主要特性：

兼容i、h、g線光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源，以兼容標(biāo)準(zhǔn)i, h和g線光刻膠，如SU8或AZ®1500系列


適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經(jīng)過(guò)精心選擇，具有較長(zhǎng)的工作距離(高達(dá)3厘米)，使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù)，因此兼容非標(biāo)準(zhǔn)基材(非平的，靈活的，厚的)。


可調(diào)直寫(xiě)范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫(xiě)分辨率        直寫(xiě)分辨率1.5um                                                                     

                                     


兼容任何尺寸的樣品，可至5平方英寸                                         對(duì)齊方式直觀——反饋相機(jī)與第二束590nm準(zhǔn)直光源疊加使用

                      


體積小，性價(jià)比高


應(yīng)用領(lǐng)域：

                 光器件                                                      微流控                                        微電子


指標(biāo)參數(shù)：



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