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洛陽博萊曼特試驗(yàn)電爐有限公司


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石墨烯生長(zhǎng)爐(PECVD)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:高朝陽查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-02-01 11:44:42瀏覽次數(shù):508次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:90條

所在地區(qū):河南洛陽市

聯(lián)系人:高朝陽 (銷售)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

石墨烯生長(zhǎng)爐(PECVD)產(chǎn)品說明:石墨烯生長(zhǎng)爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細(xì)介紹

石墨烯生長(zhǎng)爐(PECVD)



產(chǎn)品說明:    
石墨烯生長(zhǎng)爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出
。

一:基本參數(shù):
1: 加熱爐部分
2 :爐膛模式 開啟式爐膛
3 :顯示模式 觸摸屏
4: 極限溫度 1400℃
5 :工作溫度 ≤1350℃
6: 升溫速率 建議10℃/Min   Max:30℃/Min
7 :預(yù)熱溫區(qū)長(zhǎng)度 150mm
8 :主溫區(qū)長(zhǎng)度 300mm
9 :預(yù)熱溫區(qū)移動(dòng) 手動(dòng)移動(dòng)
10: 主溫區(qū)移動(dòng) 自動(dòng)移動(dòng),速度可以設(shè)定
二:設(shè)備特點(diǎn)
1: 設(shè)備規(guī)格 2000*85*1400mm(長(zhǎng)*寬*高)
2: 爐管長(zhǎng)度 2000mm
3: 控溫精度 ±1℃
4: 密封方式 快速法蘭密封
5 :溫度曲線 30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
6:預(yù)存曲線 可預(yù)存15條溫度曲線
7: 超溫報(bào)警
8:過流保護(hù)
9: 斷偶提示
10: 測(cè)溫元件 s型熱電偶
11: 爐膛材料 氧化鋁纖維
12: 射頻電源功率
13: 信號(hào)頻率 13.56 MHz±0.005%
14: 功率輸出范圍 5W-500W
15: 功率穩(wěn)定度 ±0.1%
16: 諧波分量 ≤-50dbc
17 :供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
18: 整機(jī)效率 >=70%
19: 功率因素 >=90%
20 :冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷
   真空部分
1:工作電電壓 220V±10%  50~60HZ
2:功率 500瓦
3:抽氣速率 4L/s
4: 進(jìn)氣口口徑 KF25
5:排氣口口徑 KF25
6:轉(zhuǎn)速 1450rpm
7:噪音 55dB
9:極限真空 4X10-2Pa
氣路系統(tǒng)
1,2,3,4氣路采用DB07系列
準(zhǔn)確度:±1.5%
重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
整機(jī)系統(tǒng)特色
正壓測(cè)量 -100Kpa---100Kpa
真空測(cè)量  -100Kpa
超壓保護(hù) 超壓保護(hù)值可以設(shè)定
壓力恒定 恒定壓力值可以設(shè)定
智能氣路 氣路系統(tǒng)可以編程
氣路定時(shí) 通氣時(shí)間可以設(shè)定
射頻工作時(shí)間設(shè)定 輝光放電時(shí)間可以設(shè)定,自動(dòng)關(guān)機(jī)
移動(dòng)速度調(diào)節(jié) 移動(dòng)速度可以設(shè)定
系統(tǒng)真空度 5Pa

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