每日需純氧量在5~10 t/d時，氧源一般采用液氧，液氧儲罐和附屬裝置采用租賃方式比較經(jīng)濟。每日需純氧量>10t/d時，宜采用現(xiàn)場空氣制氧方式。
當(dāng)采用液氧時，液氧存儲天數(shù)在大投加率時為3.8~7.0天，當(dāng)采用空氣制氧時，備用液氧罐的存儲天數(shù)約為2.0天，均滿足《室外給水設(shè)計規(guī)范》（GB50013-2006）中規(guī)定的要求。
為臭氧發(fā)生器運行安全和經(jīng)濟，對氧源品質(zhì)有一定要求。
調(diào)研水廠當(dāng)采用液氧時，一般要求氧氣的濃度（95~99%）、露點（≤-70~-55℃）、碳氫化合物（＜15~25ppm、顆粒尺寸（＜0.1~2.0 μm，壓力（2.5~5bar）和溫度（5~30℃）。
當(dāng)采用空氣制氧時，一般要求氧氣的濃度（≥90%）、露點（≤-60℃）、碳氫化合物15~25ppm，壓力（2.5bar）和溫度（5~30℃）。