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愛德華鈦升華泵（TSP）的原理

閱讀：270發(fā)布時(shí)間：2022-10-29

        當(dāng)需要維持高真空或者chao高真空的實(shí)驗(yàn)環(huán)境時(shí)，只依靠前級泵和分子泵往往無法達(dá)到計(jì)劃中的真空度，這個(gè)時(shí)候用戶往往會選擇鈦升華泵和離子泵來輔助維持高真空的狀態(tài)，以下是麥迪森小編總結(jié)的關(guān)于愛德華鈦升華泵（TSP）的原理。



TSP的工作原理是加熱鈦絲并將鈦分子升華(從固相轉(zhuǎn)化為氣相)到某個(gè)表面上。升華后的鈦分子可以與反應(yīng)氣體(例如氧氣和氮?dú)?發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)通過擴(kuò)散的方式來吸附游離氫氣。TSP可在10-5至10-12 mbar的范圍內(nèi)工作，氫氣抽速超過10,000 ls-1。

鈦升華泵（TSP）的抽氣機(jī)理是化學(xué)吸附。升華器升華的鈦沉積在冷的泵體壁面上，形成新鮮的鈦膜，對氮、氧和一氧化碳等活性氣體有比較強(qiáng)烈的吸附作用，并形成氮化鈦、碳化鈦和氧化鈦等穩(wěn)定的化合物，但對惰性氣體和甲烷幾乎不吸附。鈦膜吸附氣體只能是單分子層的，在已吸附氣體分子的位置上不能再吸附氣體。因此，鈦升華器需要不斷地升華，使泵體壁面上不斷地沉積新的鈦膜，才能達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。

以上就是小編總結(jié)的關(guān)于的原理的相關(guān)問題，希望對大家有所幫助。如果需要了解更多真空泵產(chǎn)品，歡迎您咨詢：。


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