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低溫等離子體清洗機(jī)可實(shí)現(xiàn)材料表面清潔、活化、材料的表面,提高其結(jié)合能力或賦予全新的表面性能。等離子處理設(shè)備具有提高材料表面親水性或疏水性、減少表面摩擦等作用。
等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
等離子體清洗機(jī)是一種新型的高科技技術(shù),利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),又稱物質(zhì)的第四種狀態(tài),不屬于常見的固液氣三種狀態(tài)。向氣體施加足夠的能量,使其離化成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性"成分包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體清洗機(jī)利用這些活性成分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而達(dá)到清潔和涂層的目的。
等離子清洗機(jī)器除能在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。對一些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子清洗機(jī)器的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。