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電子清洗用超純水處理設(shè)備顧名思義是一套專為電子行業(yè)清洗用水設(shè)計(jì)的水處理設(shè)備,保證設(shè)備的出水水質(zhì)符合電子清洗用水需求。在電子領(lǐng)域,電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、加工和清洗都離不開超純水的使用,超純水具有絕緣性,使用超純水可以避免電子產(chǎn)品發(fā)生短路現(xiàn)象,保證產(chǎn)品的合格率。
超純水重設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、混床、EDI裝置以及后處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度不同的水處理設(shè)備。超純水設(shè)備又稱做:超純水器、超純水儀、超純水系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室超純水器等。超純水設(shè)備系統(tǒng)經(jīng)常用于微電子工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)、電鍍行業(yè)、化工行業(yè)、發(fā)電工業(yè)、制藥行業(yè)和實(shí)驗(yàn)室制取純水。超純水設(shè)備也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產(chǎn)用水、化工廠工藝用水,以及其它純水、超純水應(yīng)用領(lǐng)域。
去離子水/超純水在電子工業(yè)主要是線路板、電子元器件生產(chǎn)中的重要作用日益突出,去離子/超純水水質(zhì)已成為影響線路板、電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率及生產(chǎn)成本的重要因素之一,水質(zhì)要求也越來越高。在電子元器件生產(chǎn)中,去離子水/超純水主要用作清洗用水及用來配制各種溶液、漿料,不同的電子元器件生產(chǎn)中純水的用途及對(duì)水質(zhì)的要求也不同。
在晶體管、集成電路生產(chǎn)中,超純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路生產(chǎn)過程中的80%的工序需要使用高純水清洗硅片,水質(zhì)的好壞與集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低,Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化,Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變?yōu)镹型硅而導(dǎo)致器件性能變壞,水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)引起電路短路或特性變差。
電子超純水設(shè)備是保證電子 產(chǎn) 品 質(zhì)量 安 全 促進(jìn)電子業(yè)健康運(yùn)行的依據(jù),電子超純水設(shè)備,水處理設(shè)備適用集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片、半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工,純水一號(hào)的電子工業(yè)設(shè)備廣泛的用于在電子業(yè)中,而且在電子業(yè)中的地位更是蒸蒸日上成為業(yè)內(nèi)發(fā)展的主導(dǎo)者。
電子行業(yè)超純水的特點(diǎn)
目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對(duì)水質(zhì)的要求也越高
電子行業(yè)超純水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì)、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。