聯(lián)系電話
煙臺金鷹科技有限公司
初級會員·6年
- 聯(lián)系人：
- 劉少美
- 電話：
- 86-0535-8236617
- 手機(jī)：
- 13573547231
- 地址：
- 招遠(yuǎn)招金路
- 網(wǎng)址：
- www.dajinying.com
掃一掃訪問手機(jī)商鋪
IC芯片制造領(lǐng)域中，等離子清洗機(jī)已是一種不可替代的成熟工藝，不論在芯片源離子的注入，還是晶元的鍍膜，低溫等離子體表面處理設(shè)備所能達(dá)到的：在晶元表面去除氧化膜、有機(jī)物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性
等離子清洗機(jī)，清洗活化晶圓芯片的工作原理：
在使用等離子去膠機(jī)（等離子清洗機(jī)）中，我們都知道，去膠氣體為氧氣。把需要清洗的晶片放入真空等離子去膠機(jī)反應(yīng)系統(tǒng)中，受高頻及微波能量效果，電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子、氧分子和電子等混合的等離子體形成輝光柱。具有強(qiáng)氧化才能的游離態(tài)氧原子在高頻電壓效果下與光刻膠膜反應(yīng)完成。
真空等離子去膠機(jī)的使用優(yōu)勢在于它使用操作相對簡單，去膠率更高，表面也比較干凈光潔無劃痕，成本低，環(huán)保。
等離子清洗機(jī)的的更多優(yōu)點：
超精細(xì)清洗（元件清洗）不會損傷敏感結(jié)構(gòu)
等離子清洗機(jī)對表面進(jìn)行選擇性地功能化處理以便進(jìn)行后續(xù)的加工
精益的工藝布局，顯著的成本節(jié)約
粘接工藝中的不良率降低
