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等離子清洗機(jī)的處理經(jīng)常被用來(lái)優(yōu)化晶圓表面接口條件，能讓接口變得導(dǎo)電或者絕緣。半導(dǎo)體、玻璃、石英，甚至塑料材料都能采用等離子清洗機(jī)的活化反應(yīng)，從而更好被粘接。
等離子清洗機(jī)適合多種多樣的等離子清洗、表面活化和改善附著力等應(yīng)用。這些能力可以用于半導(dǎo)體制造、微電子封裝和組裝、醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)器件的制造等。
等離子清洗機(jī)的腔體設(shè)計(jì)提供了較好的刻蝕一致性和工藝重復(fù)性。等離子清洗機(jī)應(yīng)用包括各種各樣的刻蝕、灰化、和減壓步驟。其它的等離子清洗機(jī)的工藝包括污染去除、表面粗糙化、增加潤(rùn)濕性，以及提高焊接和粘接強(qiáng)度
