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離子清洗機(jī)材料表面進(jìn)行有效的預(yù)處理，能夠有效提高材料本身的表面附著力，也就是讓材料表面本身變得具有親水效果，這樣就可以使用普通的便宜的膠粘劑進(jìn)行后續(xù)的粘接工作，而且很穩(wěn)定。在新型環(huán)保材料的應(yīng)用過程中，所生產(chǎn)出來的產(chǎn)品無疑是不親水的，也就是附著力低，這樣就導(dǎo)致在粘接的過程中，膠水與新型環(huán)保材料所制造出來的產(chǎn)品兩者之間相互不親和，這樣就必須使用特定的膠水來進(jìn)行粘接工作?？墒牵褂锰囟ǖ哪z水來進(jìn)行粘接的話，膠水的價(jià)格無疑讓很多想降低生產(chǎn)成本的。使用等離子清洗機(jī)對(duì)材料表面進(jìn)行清洗，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕
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優(yōu)化引線鍵合（打線）集成電路引線鍵合的質(zhì)量對(duì)微電子器件的可靠性有決定性影響，鍵合區(qū)必須無污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在，如氧化物、有機(jī)殘?jiān)榷紩?huì)嚴(yán)重削弱引線鍵合的拉力值。傳統(tǒng)的濕法清洗對(duì)鍵合區(qū)的污染物去除不*或者不能去除，而采用等離子體清洗機(jī)能有效去除鍵合區(qū)的表面沾污并使其表面活化，能明顯提高引線的鍵合拉力，提高封裝器件的可靠性。引線框架的表面處理微電子封裝領(lǐng)域采用引線框架的塑封形式，仍占到80%以上，其主要采用導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性、加工性能良好的銅合金材料作為引線框架，銅的氧化物與其它一些
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等離子表面處理設(shè)備，業(yè)內(nèi)更常見的名稱為“等離子清洗機(jī)”等離子清洗機(jī)區(qū)別于傳統(tǒng)清洗（如機(jī)械清洗、水洗與溶劑清洗）之處在于，傳統(tǒng)的清洗方式在清洗完成后，通常在表面仍然存在幾納米至幾十納米厚度的殘留。而隨著精密加工工藝的要求越來越嚴(yán)苛，這些殘留往往會(huì)對(duì)工藝過程與產(chǎn)品可靠性產(chǎn)生不良的影響。而等離子清洗機(jī)的表面活化清洗作為一種干式清洗方式，在清潔材料表面的同時(shí)，還能對(duì)材料表面進(jìn)行活化，等離子清洗機(jī)有利于材料進(jìn)行下一道的涂覆粘接等工藝。等離子清洗機(jī)表面活化處理設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域1).攝像頭、指紋識(shí)別行業(yè)：軟硬結(jié)合
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目前，以聚乙烯（PE）為代表的的聚烯烴類高分子材料，因具有優(yōu)良的電氣性能、物理力學(xué)性能、化學(xué)穩(wěn)定性、低毒性、原料豐富、加工工藝簡(jiǎn)單、生產(chǎn)效率高等特點(diǎn)、而被廣泛用作光纜電線的絕緣材料和護(hù)套材料。但是、聚乙烯表面能低、親水性和粘接性差，使得在光纜電纜表面噴涂的標(biāo)志（型號(hào)、規(guī)格、長(zhǎng)度等）很容易被磨損掉。因此需要對(duì)該類材料表面的物理化學(xué)性能進(jìn)行改善，以增強(qiáng)護(hù)套表面與噴涂墨水的粘結(jié)性和相互滲透性。低溫等離子清洗機(jī)表面改性作用在材料表面改性中，主要是利用低溫等離子清洗機(jī)的等離子體轟擊材料表面，使材料表面分子
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半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域等離子清洗機(jī)的應(yīng)用
等離子體清洗機(jī)是干法清洗應(yīng)用中的重要的表面處理設(shè)備，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，等離子體清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)越來越明顯。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，晶圓芯片表面會(huì)存在各種顆粒、金屬離子、有機(jī)物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質(zhì)。為保證集成電路IC集成度和器件性能，必須在不破壞芯片及其他所用材料的表面特性、電特性的前提下，清洗去除芯片表面上的這些有害沾污雜質(zhì)物。否則，它們將對(duì)芯片性能造成致命影響和缺陷，極大地降低產(chǎn)品合格率，并將制約器件的進(jìn)一步發(fā)展。目前，器件生產(chǎn)中的幾乎每道工序都有清洗這一步驟，其目的是去除芯片表面沾污、雜 -
等離子清洗機(jī)在晶圓芯片封裝工藝中的銅引線框架，引線鍵合，倒裝芯片封裝，晶圓光刻膠去除等工序中都需要用到plasma清洗機(jī)處理。在芯片、微電子機(jī)械體系MEMS封裝中，基板、基座與芯片之間有很多的引線鍵合，引線鍵合仍然是完成芯片焊盤與外引線銜接的重要方法，如何進(jìn)步引線鍵合強(qiáng)度一直是職業(yè)研討的問題。射頻驅(qū)動(dòng)的低壓等離子清洗機(jī)是一種有用的、低成本的清潔辦法，可以有用地去除基材外表或許存在的污染物，例如氟化物、鎳的氫氧化物、有機(jī)溶劑殘留、環(huán)氧樹脂的溢出物、材料的氧化層，等離子清洗機(jī)處理一下再鍵合，會(huì)明顯進(jìn)
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等離子處理機(jī)廣泛用于表面蝕刻、表面活化、表面接枝、表面聚合。等離子體表面清洗機(jī)是一種氣-固相干反應(yīng)體系，該體系不引入其它物質(zhì)，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，能有效改善材料表面的親水、疏水和生物相容性，大大提高材料粘結(jié)牢度度。等離子處理器主要應(yīng)用于印刷包裝行業(yè)、電子行業(yè)、塑膠行業(yè)、家電行業(yè)、汽車工業(yè)、印刷及噴碼行業(yè)，在印刷包裝行業(yè)可直接與全自動(dòng)糊盒機(jī)聯(lián)機(jī)使用。等離子體清洗機(jī)主要用來對(duì)覆膜、UV上光、高分子、金屬、半導(dǎo)體、橡膠、塑膠、玻璃、PCB電路板等各類復(fù)雜材料進(jìn)行表面處理，提高表面附著力，使產(chǎn)品在粘膠、
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等離子體表面處理設(shè)備能夠提高EPDM表面的親水性粘接能力應(yīng)用等離子體處理表面設(shè)備可以得到非常薄的高張力涂層表面，不需其他機(jī)械、化學(xué)處理等任何強(qiáng)烈作用成分來增加粘合性。EPDM橡膠具有密度低、耐候性好、耐老化性好、絕熱性能高、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于航天航空等領(lǐng)域，尤其適用于固體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室內(nèi)的絕熱層。EPDM作為固體發(fā)動(dòng)機(jī)中的隔熱隔熱材料，目前國(guó)內(nèi)研究已取得了很大進(jìn)展，但EPDM橡膠分子主鏈結(jié)構(gòu)飽和，本身為弱極性材料，表面能低，接觸角大，膠粘劑浸潤(rùn)困難，邊界層較弱，粘結(jié)困難，粘結(jié)強(qiáng)度低，這限
