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行業(yè)產(chǎn)品

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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司


固態(tài)射頻電源

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-11 17:46:56瀏覽次數(shù)：200次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場(chǎng)專員）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

固態(tài)射頻電源

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

特征

頻率調(diào)整范圍

13.56MHz±5%

頻率穩(wěn)定度

±50ppm

輸出功率調(diào)節(jié)范圍

2W-3000W連續(xù)可調(diào)，步進(jìn)0.1W

射頻開(kāi)關(guān)幅度過(guò)沖持續(xù)時(shí)間  

0.1mS

射頻開(kāi)關(guān)幅度過(guò)沖

±1%

脈沖信號(hào)重頻

10Hz-100kHz，步進(jìn)1Hz；脈寬5μS-90mS

脈沖信號(hào)占空比

5%-95%，步進(jìn)1%可調(diào)；邊沿＜ 2μS

整機(jī)效率（額定功率下）

60%

諧波抑制

≤-50dBc

雜散抑制

≤-50dBc

幅度穩(wěn)定度

≤±0.1%


欲知更多詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)點(diǎn)擊“立即咨詢"聯(lián)系我司客服進(jìn)行了解！

應(yīng)用范圍

半導(dǎo)體工業(yè)方面如等離子體刻膠、等離子蝕刻 、 RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVC等系統(tǒng)、等離子清洗、PECVD、板條射頻激光源等

外形尺寸

QQ截圖20220218133342



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