ZEISS 高分辨電子掃描顯微鏡-EVO 10,具備自動化工作流程的高清晰掃描電鏡
 

提高樣品的成像分辨率，提供更多表面細(xì)節(jié)信息

EVO 電鏡廣泛應(yīng)用于材料和生命科學(xué)領(lǐng)域。

在低電壓下，借助電子束減速和高分辨背散射電子成像技術(shù)獲取出色的樣品形貌細(xì)節(jié)。您還可以在可變環(huán)境條件下實時觀察材料的相互作用，控制樣品
室環(huán)境并實現(xiàn)含水生物樣品的詳細(xì)分析。

借助自動化工作流程實現(xiàn)高效應(yīng)用。EVO 的 X 射線幾何學(xué)設(shè)計能確保在分析工作條件下達(dá)到分辨率。 

高分辨電子掃描顯微鏡技術(shù)規(guī)格

設(shè)備主要部件及技術(shù)要求：

該項目的設(shè)備必須是全新設(shè)備且整體進口（包括所有零部件，元器件和附件等），滿足各自的技術(shù)指標(biāo)和性能，其性能應(yīng)達(dá)到*水平，可靠性好，性能穩(wěn)定，控制精度高，使用、操作和維修方便，售后服務(wù)優(yōu)良，必須在河南地區(qū)常駐有售后工程師以方便后期維護。

1、基本要求

1.1 電子光學(xué)系統(tǒng)

1.1.1 發(fā)射源：鎢燈絲；

1.1.2 分辨率：高真空二次電子像 ≤3.0nm @30kV≤8.0nm @3kV低真空背散射電子像 ≤4.0nm（30kV）；

1.1.3 加速電壓范圍：200V－30kV，10V 步進連續(xù)可調(diào)；

1.1.4 放大倍數(shù)范圍不小于：7X－1,000,000X，連續(xù)可調(diào)；

*1.1.5 探針電流范圍：0.5 pA~5μA，連續(xù)可調(diào)；

*1.1.6 電子束控制模式不少于以下幾種控制模式：分辨率模式、分析模式、大視野模式、大景深模式和魚眼模式；

*1.1.7 分析工作距離不大于 8.5mm 且分析工作距離下的大視野范圍不小于 6mm，普通模式下視野范圍不小于 20mm；

1.2 真空系統(tǒng)

1.2.1 抽真空系統(tǒng)：渦輪分子泵 + 機械泵，不需要冷卻水

1.2.2 樣品室真空度：優(yōu)于優(yōu)于 3 x 10-4 Pa

1.2.3 抽真空時間：≤3 分鐘

1.3 樣品室及樣品臺

1.3.1  樣品室內(nèi)部尺寸不小于 310mm（直徑）×220mm（高）；3

*1.3.2 可放置的樣品尺寸和承重：樣品直徑不小于 230mm，高度不小于 100mm，臺承重不小于5kg；

1.3.3   配備探測器：高真空二次電子探測器，背散射電子探測器，樣品室紅外 CCD 攝像裝置

*1.3.4  配置五軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺：樣品臺馬達(dá)移動范圍：不小于 80mm（X 方向），100mm（Y 方向），35mm（Z 方向），-10°~ 90°（傾斜），360°（旋轉(zhuǎn)）

1.3.5  樣品臺類型：全電動 5 軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺，雙軸搖桿操作系統(tǒng)；

1.3.6  樣品臺具有接觸報警與自停功能;

*1.3.7  馬達(dá)臺重復(fù)精度不低于 2um；