產(chǎn)品簡介：

Harrick Plasma是國際的等離子清洗器生產(chǎn)商，在業(yè)內(nèi)已經(jīng)有三十多年的經(jīng)驗(yàn)。他所生產(chǎn)的小型等離子清洗器結(jié)構(gòu)緊湊、質(zhì)量可靠、價(jià)格合理；廣泛地被大中院校、科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)和實(shí)驗(yàn)室采用。其產(chǎn)品主要應(yīng)用在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機(jī)械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)、牙科醫(yī)療等領(lǐng)域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學(xué)改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料，并對(duì)所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。

基本參數(shù)：

主要特征：
臺(tái)式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊精致
低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率，可為18W
設(shè)備輻射小，安全環(huán)保

外形尺寸：8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）

重量：6.0kg

輸入電源： 220 V／50Hz

輸入功率： 100 W

功率檔：
低檔680V DC、10mA DC、6.8W
中檔700V DC、15mA DC、10.5W
高檔720V DC、25mA DC、18W

常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等

基本配置：
直徑3英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
為18W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥

選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM

周邊設(shè)備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

選件一：氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM

功能及配置簡介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力
6、適用氣體：空氣、氮?dú)?、氬氣或混合氣體。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號(hào)：PDC-FMG-2

選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號(hào)：
1、PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān))：1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開)：23 mTorr
電機(jī)功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V) 抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān)): 7.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開: 150 mTorr
電機(jī)功率(50/60 Hz): 373 W
重量: 27 lbs
尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"

選件三：石英等離子清洗艙及托盤