EUV型200W高出力低壓水銀燈紫外線UV光清洗燈:

主要型號: EUV200WH-20，EUV200WS-19, EUV200WS-47, EUV200WH-47,EUV200WS-53,EUV200WS-50,EUV200WS-55

技術(shù)參數(shù)：200W，1.4A,管徑18-20MM,口金徑22MM,UV特性254NM,壽命:5000H

主要功能：1.光洗凈.光表面改質(zhì), 2.光酸化水處理.促進(jìn)酸化水處理, 3.分解難分解的有機(jī)污染物.殺菌

日本SEN特殊光源原產(chǎn) 低壓汞燈 水銀燈 清洗燈 EUV200WH

L:不發(fā)出臭氧的石英管 H:普通石英管 S:合成石英管
其中 S 石英管184nm波長發(fā)射率是H 管的2倍。
200W以上需要強(qiáng)制冷卻裝置。

紫外線表面清洗

作者:SEN特殊光源株式會社 社長:Kikuchi Kiyoshi

１紫外線表面清洗

紫外線表面清洗是近年來新興的清洗方法。紫外線表面清洗法不同于原有清洗法，沒有廢水，廢氣，廢物產(chǎn)生。是高能環(huán)保型清洗殺菌方法。廣泛運(yùn)用于LCD,PCB，點(diǎn)子，印刷，塑膠，玻璃，涂裝等領(lǐng)域。

紫外線清洗是是利用有機(jī)化合物的光敏氧化作用達(dá)到去除附著在材料表面的有機(jī)物質(zhì)。經(jīng)過光清洗后的材料表面可以達(dá)到原子級清潔度。

其主要原理為紫外線燈發(fā)出的185nm波長和254nm波長具有很高的能量，高于大多數(shù)有機(jī)物的結(jié)合能量。由于大多數(shù)碳?xì)浠衔飳?85nm波長的紫外線具有較強(qiáng)的吸收能力，并且可以在吸收185nm波長后分解成離子，流離態(tài)原子，受激分子和中子等，這就是光敏作用?？諝庵械难醴肿釉谖樟?85nm波長的紫外光后，會產(chǎn)生臭氧和氧氣，臭氧對254nm波長具有很強(qiáng)的吸收性，臭氧有可以分解為氧原子和氧氣。氧原子具有的氧化性，可以將碳?xì)浠湘I切斷，生成水和二氧化碳等易揮發(fā)氣體，從被照射物表面飄逸出，*清除物體表面的污染物。這就是紫外線清洗的原理。

清洗法有干洗和濕洗兩種。干洗有UV臭氧清洗，等離子清洗，離子清洗等。濕洗有水洗，堿清洗，酸清洗，液體噴射清洗等。我們?nèi)粘Ｋ煜さ臐袷角逑从锌梢郧逑吹糨^大范圍污染的優(yōu)點(diǎn)。但是也會有清洗不掉的污染。同時(shí)由于清洗的溶劑會在被清洗物表面殘留，因此對于高精密世界來說也是個(gè)污染。

與此相反UV紫外線清洗雖然不能清洗掉大范圍的污染，卻可以清洗到各個(gè)角落的就是光洗凈技術(shù)（以下簡稱UV臭氧清洗）。在納米技術(shù)世界里，我們雖然看不到有機(jī)性污染，但是有機(jī)污染在表面形成膜（軟接著層）如果在這層膜上印刷的話，就會出現(xiàn)鮮度惡化以及針孔等障礙。UV臭氧清洗可以去除的污染有有機(jī)化合物以及含有油脂的污染等。

2二次污染的注意

玻璃表面的有機(jī)性污染膜厚度在單分子層以下時(shí)是非常清潔的表面狀態(tài)。即便是在實(shí)驗(yàn)室或這是無菌室里的大氣中也會有微量的揮發(fā)性有機(jī)化合物或者硫化合物，將洗凈玻璃放置于這種環(huán)境下也會被這些蒸汽污染。高度清洗過后的表面接觸角會在30分到1小時(shí)內(nèi)恢復(fù)到20度。因此我們認(rèn)為超高清潔玻璃不易長時(shí)間保存。

3。可以將粒子極限清洗的清洗工藝

UV臭氧清洗和濕式清洗的結(jié)合

UV臭氧清洗是使有機(jī)性污染膜清洗到單分子層以下的高清洗技術(shù)，如下圖所示在完成清洗階段使用UV臭氧清洗技術(shù)。但是UV臭氧清洗對于粒子沒有效果。同時(shí)濕式清洗不能*清除有機(jī)性污染，會保留幾個(gè)分子層厚度的油膜。被這些油墨所吸收的粒子在沖洗過程中很難被全部清洗掉。UV臭氧清洗是完成階段的清洗，在生產(chǎn)過程中我們發(fā)現(xiàn)了如下圖所示UV臭氧清洗后使用例如溫水沖洗的清洗工藝。UV臭氧清洗如圖所示油膜基本上都可以清除。在此之后使用純水沖洗可以將沒有油膜保護(hù)的粒子很容易的沖洗掉，得到?jīng)]有粒子，沒有有機(jī)污染物的高清潔面。

這種技術(shù)方法不但在液晶顯示裝置的現(xiàn)場使用，在原版曝光和分光板的制造工程中也被大量使用。