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材質(zhì)	鋼/鋁木實驗臺	產(chǎn)地	國產(chǎn)
結(jié)構(gòu)	雙面(中央)實驗臺

高低溫真空探針臺

產(chǎn)品概述：

錦正茂高低溫真空探針臺可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz)，探針熱沉設(shè)計，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

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高低溫真空環(huán)境實驗臺半導(dǎo)體測量探針臺

應(yīng)用范圍：

錦正茂高低溫真空探針臺高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。

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高低溫真空環(huán)境實驗臺半導(dǎo)體測量探針臺

可選附件：

t 防震桌

t 多級壓縮制冷機(jī)

t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵

t 射頻部件

t 各類型頻率真空接頭

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…

t 各類探針夾具

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

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技術(shù)指標(biāo)：

型號	T81-50探針臺	T80-50探針臺
制冷方式	液氦/液氮制冷	閉循環(huán)制冷機(jī)
腔體材質(zhì)	無磁不銹鋼或者鋁合金
真空度	真空上等高達(dá)10-8Pa
真空腔觀察窗尺寸	2inch（可選）
控溫范圍	4.2K-450K	5K-450K
控溫分辨率	0.001K控溫儀相關(guān)
溫度穩(wěn)定性	0.1K控溫儀相關(guān)
降溫時間	40min	150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定
溫度傳感器	硅二極管、PT100（3個，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個）
加熱電源	LVDC 低壓直流
樣品臺材質(zhì)	鍍金無氧銅
樣品臺尺寸	直徑20-50mm，可選100mm
樣品臺平整度	≤7μm
樣品臺固定方式	固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動）
樣品臺振動級別	≤50納米	≤1μm（三級減震）
探針臂數(shù)量	2個、4個、6個、8個可選
探針臂機(jī)械精度	±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選）
探針種類	鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針）
探針調(diào)節(jié)	真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動控制
放大倍數(shù)	16~100X/20~4000X
顯微鏡行程	X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm
電力需求	220V 50-60Hz