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長(zhǎng)沙科美分析儀器有限公司
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更新時(shí)間：2022-08-22 15:38:48瀏覽次數(shù)：550次
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Park Systems原子力顯微鏡 XE-15， 具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測(cè)試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差，提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴(kuò)大了適合樣品種類(lèi)，同時(shí)*地延長(zhǎng)了探針壽命，降低了使用成本。
Park Systems原子力顯微鏡 XE-15
儀器簡(jiǎn)介:
Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測(cè)試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差，提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴(kuò)大了適合樣品種類(lèi)，同時(shí)*地延長(zhǎng)了探針壽命，降低了使用成本。
Park Systems原子力顯微鏡 XE-15技術(shù)參數(shù)：
掃描器
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）
平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）
Z掃描器
柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器
掃描范圍12μm（可選25μm）
共振頻率：>5kHz
表面成像噪聲：0.03nm
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)種類(lèi)：16位點(diǎn)樣品臺(tái)/150mm直徑真空吸附臺(tái)（可選200mm直徑真空吸附臺(tái)）
樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm
樣品重量：zui大500g
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）
主要特點(diǎn)：
一、創(chuàng)新的多位點(diǎn)樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，提供工作效率
●一次操作zui多可以掃描16個(gè)樣品
●樣品安放簡(jiǎn)單，掃描迅速
●*提高了數(shù)據(jù)的精確性和重復(fù)性
二、支持超大樣品，滿足業(yè)界發(fā)展需要
●zui大支持200 mm晶圓，滿足用戶(hù)目前和今后的需要
●滿足半導(dǎo)體相關(guān)用戶(hù)實(shí)際需要的專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)
三、豐富的功能模式選擇
●完善支持各種SPM功能
●支持多種選配測(cè)量模式
●支持各種可選配件，擴(kuò)展性能*
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