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日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500

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產(chǎn)品型號SU3500

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更新時間：2024-03-11 20:21:02瀏覽次數(shù)：261次

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產(chǎn)品簡介

日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500，采用全新電子光學和圖像處理系統(tǒng)，*六偏壓設計，低壓束流*增強，分辨率提高，寬泛低真空范圍利于觀察更多類型的不導電的樣品，特別是操作系統(tǒng)的自動化速度和準確性，簡單3步即可完成，不僅提高作業(yè)速度，而且方便初學者操作。

詳細介紹

日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500

產(chǎn)品介紹：

SU3500采用全新電子光學和圖像處理系統(tǒng)，*六偏壓設計，低壓束流*增強，分辨率提高，寬泛低真空范圍利于觀察更多類型的不導電的樣品，特別是操作系統(tǒng)的自動化速度和準確性，簡單3步即可完成，不僅提高作業(yè)速度，而且方便初學者操作。

高畫質的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質量更進一步。

通過高畫質提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立*科*”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能”^＊1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”^＊1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標準。
*1：自選

日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500特點：

^（*2）：和日立SEM S-3400N相比低加速電壓觀察時分辨率更高，可更好地觀察樣品zui表面的細微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設計的電子光學系統(tǒng)和信號處理技術實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比^＊2，自動功能縮短^＊3了大約11秒
具有在低真空時可以非常好地觀察樣品zui表面的細微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測器）”^＊4
具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能”^＊4

^（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時間會有變動
^（*4）：自選

規(guī)格：

項目		描述
二次電子分辨率		3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）
二次電子分辨率		7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射電子分辨率		4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式）
背散射電子分辨率		10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率		5 - 300,000倍（底片倍率^＊5）
放大倍率		7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率^＊6）
加速電壓		0.3 - 30kV
可變壓力范圍		6 - 650Pa
zui大樣品尺寸		直徑 200mm
樣品臺	X	0 - 100mm
	Y	0 - 50mm
	Z	5 - 65mm
	R	360°
	T	-20° - 90°
	可觀察區(qū)域	直徑 130mm （旋轉并用）
	zui大樣品高度	80mm（WD=10mm）
	馬達臺	5軸標配
電子光學系統(tǒng)	電子槍	預對中的鎢燈絲
	物鏡光闌	4孔可動光闌
	探檢測器	埃弗哈特索恩利二次電子探測器
	探檢測器	高靈敏度半導體背散射電子檢測器
	EDX分析 WD	10mm（取出角35°）
圖像顯示	操作系統(tǒng)	Windows^® 7^＊7（如有更改，恕不另行通知）
	圖像顯示模式	全屏模式（1,280 × 960 像素）
		小屏模式（800 × 600 像素）
		雙圖像顯示（800 × 600 像素）
		四屏幕顯示（640 × 480像素）
		信號混合模式
排氣系統(tǒng)	操作	全自動排氣
	渦輪分子泵	210升/秒 × 1
	機械泵	135L/min（162L/min，60Hz）× 1