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光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)±0.001℃精度溫度傳感器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

工作原理：利用NTC熱敏電阻在的測(cè)溫特性，電阻值隨著溫度上升而迅速下降。利用這一特性, 我們可阻通過(guò)測(cè)量NTC電阻值來(lái)確定相應(yīng)的溫度，從而達(dá)到檢測(cè)和控制溫度的目的。光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)±0.001℃精度溫度傳感器

詳細(xì)介紹

引言
光刻機(jī)（Mask Aligner）又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。
光刻機(jī)工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅(jiān)膜、檢測(cè)。其中光刻機(jī)的檢測(cè)尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅(jiān)膜。對(duì)刻蝕和離子注入工藝非常關(guān)鍵。正膠的堅(jiān)膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會(huì)產(chǎn)生光刻膠流動(dòng)。因此溫度對(duì)于光刻的成品率起著重要的決定性因素

光刻機(jī)工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅(jiān)膜、檢測(cè)。其中光刻機(jī)的檢測(cè)尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅(jiān)膜。對(duì)刻蝕和離子注入工藝非常關(guān)鍵。正膠的堅(jiān)膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會(huì)產(chǎn)生光刻膠流動(dòng)。因此溫度對(duì)于光刻的成品率起著重要的決定性因素

產(chǎn)品介紹
NTC測(cè)量模塊是一種以負(fù)溫系數(shù)熱敏電阻為感溫探頭的傳感器。NTC是合肥智測(cè)電子有限公司的一款高精度熱敏電阻測(cè)量產(chǎn)品，支持4線制熱敏電阻測(cè)量，測(cè)量zuida阻值250KΩ，精度±0.02℃。RS485接口支持MODBUS協(xié)議，包括MODBUS RTU和MODBUS ACSII協(xié)議，NTC測(cè)量模塊采用24V直流電壓供電，提供4線制熱敏電阻溫度測(cè)量，用戶可輸入NTC 特征參數(shù)，精度可達(dá)±0.02℃。模塊配備了RS485通訊接口，支持MODBUS協(xié)議，可提供用戶二次開發(fā)。獨(dú)立的電源開關(guān)可單獨(dú)控制模塊供電。

NTC測(cè)溫模塊廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、LED、空調(diào),冰箱、冷柜、熱水器、飲水機(jī)、暖風(fēng)機(jī)、洗碗機(jī)、消毒柜、洗衣機(jī)、烘干機(jī)等家電設(shè)備上、汽車空調(diào)、水溫傳感器、進(jìn)氣溫度傳感器、發(fā)動(dòng)機(jī)、開關(guān)電源、UPS不間斷電源、變頻器、電鍋爐等

半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)高精度測(cè)溫模塊、半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)高精度測(cè)溫儀、半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)溫度探頭、半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)溫度傳感器、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫模塊、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫儀、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)溫度傳感器、浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫模塊、浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫儀、浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度傳感器、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫模塊、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫儀、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度傳感器、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫模塊、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫儀、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度溫度探頭、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度溫度傳感器、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫模塊、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫儀、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度溫度探頭、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度溫度傳感器

關(guān)鍵詞：芯片傳感器暖風(fēng)機(jī) 消毒柜烘干機(jī)

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