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更新時(shí)間：2024-04-27 07:14:43瀏覽次數(shù)：118次
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EVG7200是一款全自動(dòng)化的紫外納米壓印設(shè)備，相比EVG720可適用于更大尺寸的基板，能在大面積、高產(chǎn)量、低成本的條件下加工出高精度的納米結(jié)構(gòu)，非常適合于下一代微流控器件、光學(xué)器件，例如光學(xué)衍射元件（DOE）。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·分辨率可達(dá)40nm（取決于模版和工藝條件）
·專有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術(shù)
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