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UB5000硅片檢測顯微鏡

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產(chǎn)品型號UB5000硅片檢測顯微鏡

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更新時間：2024-08-03 09:39:56瀏覽次數(shù)：125次

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產(chǎn)品簡介

硅片、電路基板、FPD、精密模具工業(yè)顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗(yàn)和科學(xué)研究

詳細(xì)介紹

大平臺工業(yè)顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰，襯度好。是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。

技術(shù)規(guī)格
觀察頭
30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm）
目鏡
WF10×/25mm
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
轉(zhuǎn)換器
帶DIC插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器
物鏡
平場無限遠(yuǎn)長工作 距離明暗場物鏡：5×/0.1B.D/W.D.29.4mm
10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
平臺
雙層移動平臺
平臺尺寸: 350mm×310mm
移動范圍：250mm×250mm
濾色片
插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）
調(diào)焦
粗、微動同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動機(jī)構(gòu) 微動格值0.002mm
光源
落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素?zé)?2V/100W，AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)
偏光裝置
檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
檢測工具
0.01mm測微尺
可供附件
目鏡：WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
300萬、500萬、900萬、1400萬像素CMOS芯片數(shù)字?jǐn)z像頭
平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
二維測量軟件
專業(yè)金相圖像分析軟件
DIC（10×、20×、40×、100×）
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
壓平機(jī)
彩色CCD 芯片 300萬，500萬，800萬像素?cái)z像頭
UB5000 特點(diǎn)說明
1． 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2． 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一
觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3． 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
4． WF10X（Φ25）超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡。
5． 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。


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