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技術(shù)文章

VaporCold水汽捕集泵的應用原理

閱讀:64發(fā)布時間:2023-3-1

在使用油擴散泵或分子泵的高真空環(huán)境中,都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸氣、油蒸氣及其它高沸點的氣體,但機械泵抽除殘余氣體的能力低、時間長。而且殘余氣體還是工件的污染源,影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。

水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領(lǐng)域及高真空獲得領(lǐng)域的主要危害氣體。

(1)由于水蒸氣和油蒸氣的存在,導致抽真空時間變長,真空系統(tǒng)無法迅速達到目標真空度,生產(chǎn)效率下降;所需真空度越高,環(huán)境濕度越大,影響越明顯。

(2)同時,水蒸氣,油蒸氣的存在,會導致膜層牢固度下降,無法多層鍍膜,顏色不均一等影響產(chǎn)品質(zhì)量現(xiàn)象發(fā)生。

(3)水蒸氣在某些條件下還會電離,產(chǎn)生氧氣,使靶材氧化,導致鍍膜顏色發(fā)生變化。

深冷水汽捕集泵,是解決以上問題的上佳選擇。

深冷水汽捕集泵的工作原理,是依照麥森納捕集原理(Principle of Meissner trapping),使水汽分子在低溫盤管(Cryocoil)的超低溫表面上凝結(jié),有效地吸附水蒸氣,達到捕集水汽的目的。

深冷水汽捕集泵的具體應用:將一個-100℃以下的低溫盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體,從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間),獲得潔凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個數(shù)量級,達到10-8 Torr、10-5 Pa)。

近二十年來,在深冷水汽捕集泵領(lǐng)域,國產(chǎn)設(shè)備取得了長足的進步,*替代了PolyCold設(shè)備,性能指標與進口設(shè)備一致,價格不到進口設(shè)備的二分之一,具備很高的性價比。在安全性、便利性、數(shù)據(jù)可追溯性方面,VaporCold深冷水汽捕集泵,*超越進口同類產(chǎn)品。

在實際應用中,根據(jù)低溫表面所放置的位置不同,一般可以分為兩大類 :

A、 低溫盤管(水汽捕集器)

低溫盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。非常適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。低溫盤管需要有加熱除霜功能,使盤管在每次破真空之前恢復到常溫,避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜,影響下一個產(chǎn)品周期的抽真空時間。

PolyCold水汽捕集泵1.jpg


B、低溫擋板(冷阱)

放置在油擴散泵的泵口、高閥以下,主要功能是防止油擴散泵的油氣返流,同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無需除霜功能。


PolyCold水汽捕集泵2.jpg

根據(jù)需要,低溫盤管和低溫擋板,可以分別安裝,也可以同時安裝。


VaporCold水汽捕集泵的主要作用:

縮短抽真空時間,提高鍍膜質(zhì)量和產(chǎn)量。


VaporCold水汽捕集泵的主要特點:

1、快速捕集水汽、油氣、可縮短抽真空時間60-90%;

2、提高鍍膜質(zhì)量,防返油、不脫落、顏色純正;

3、降溫快,3分鐘內(nèi)制冷到-100℃,可達-150℃;

4、升溫快,3分鐘熱氣除霜,迅速回溫;

5、制冷系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計,3分鐘可再次降溫;

6、彩色觸摸屏與工業(yè)PLC組合,歷史記錄可查詢;

7、國際品牌制冷壓縮機,環(huán)保混合制冷劑;

8、國際標準接口,可設(shè)計為單路或兩路負載輸出;

9、單路或兩路負載入口溫度和出口溫度的顯示和記錄;

10、內(nèi)部溫度、水冷溫度、排氣溫度、排氣壓力的顯示和記錄;

11、除霜溫度自由設(shè)定,除霜結(jié)束后自動提示;

12、壓縮機溫度過高、壓力過高報警保護;

13、水冷不足、水溫過高報警保護;

14、閥門箱前置,方便操作,避免冷凝水泄漏;

15、本地、遠程自由轉(zhuǎn)換,便于機臺組合控制;

16、配置RS485、TCP/IP通信接口,方便連接上位機。

VaporCold系列-135℃深冷水汽捕集泵,采用成熟的核心技術(shù)、可靠的設(shè)計方案、進口品牌制冷壓縮機及制冷配件、環(huán)保混合制冷劑、自動復疊制冷。制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便。其設(shè)計和制造與國際技術(shù)水平同步,性能指標達到甚至進口機型,可實現(xiàn)對進口機型的直接替換。

長流儀器歷經(jīng)二十余年的發(fā)展,針對真空鍍膜行業(yè)開發(fā)了VaporCold系列水汽捕集泵,替代PolyCold,可為真空鍍膜行業(yè)提供完整的水汽捕集方案,幫助客戶提高生產(chǎn)效率、減少生產(chǎn)費用, 改進制程表現(xiàn), 提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。




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