型號：OTF-1200X-50S-PE
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）。該設(shè)備配有等離子射頻電源，開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個直聯(lián)式雙旋機械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng)，且設(shè)備性價較為理想。
| 設(shè)備名稱 | 小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點 | ? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ? 整套設(shè)備尺寸小巧； ? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量； ? 可通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數(shù) | ? 溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃； ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重：75 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
環(huán)保在線