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防爆真空固化爐

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途：本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專(zhuān)用設(shè)備

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品用途：

本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專(zhuān)用設(shè)備，烘箱溫度可達(dá)450℃

性能特點(diǎn)：

1真空度可達(dá)10 Pa

2精體內(nèi)氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測(cè)接口

3日本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制

4內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

型號(hào) ZK-固化系列

內(nèi)箱尺寸（H*W*D) 20*20*40 30*30*60

控溫范圍　　　　　　　RT+20℃~450℃

溫度波動(dòng)　　　　　　　　±0.5℃

真空度　　　　　　　　　10pa

氧含量　　　　　　　　 ≤20ppm

內(nèi)箱材質(zhì)　　　　　 SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì)　　　　　鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料　　　　　硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護(hù)裝置　　　　　聲光報(bào)警器超溫保護(hù)器 Audible and visual alarm, Over Temp

功率　　　　　　　　　9.0 12.0

電源　　　　　　　AC380V±10%3中50HZ

關(guān)鍵詞：報(bào)警器

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