Tetra 3600 PC | 特殊設(shè)備
開關(guān)柜:寬 2000 mm、高 2000 mm、深 1200 mm
腔室:寬 1500 mm、高 700 mm、深700 mm
處理幅寬:1200mm
卷軸直徑:127mm
卷軸外徑:220mm
腔室容積:約 735升
氣體供給:通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發(fā)生器:1 個 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系統(tǒng):配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)