GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
名稱 | 帶3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐--GSL-1700X-III-F3LV |
爐體結(jié)構(gòu)
| 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度小于35℃。 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，較大程度減少能量損失。 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。 三個溫區(qū)分別被三個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制。 |
功率 | 10KW（需要75A的空氣開關(guān)） |
電壓 | AC 380V 50Hz |
加熱區(qū) | 總加熱區(qū)長度：25"（630mm）。 加熱溫區(qū)1長度：7.5"（190mm）1400℃通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃。 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，側(cè)參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系。 升溫速率：10℃/min。 加熱溫區(qū)2長度：10"（250mm）1700℃通6根硅鉬棒加熱，溫度可達(dá)1700℃。 升溫和降溫速度：5℃/min。 加熱溫區(qū)3長度：7.5"（190mm）1400℃通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃。 升溫速率：10℃/min。 |
爐管和法蘭尺寸 | 99.8%高純剛玉管 purity A1umina tube。 （標(biāo)配）（60mm）O.D×I.D（50mm）×1200mm L。 一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表。 儀器中包括4個氧化鋁管堵。
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溫控系統(tǒng) | 3個溫控系統(tǒng)，都是PID 30段程序化控溫。 控溫儀表操作視頻。 |
控溫精確度 | ±1℃ |
低真空系統(tǒng)
| 采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵，起針對于本公司的管式爐，真空度可達(dá)到10-2 torr。 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為25mm Dia×1000mm length，可于管式爐上的法蘭相連接。 |
防腐型真空計(jì)
| 其測量范圍為3.8×10-5至1125 torr，不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 |
三路浮子混氣系統(tǒng)
| 3個浮子流量計(jì)（精確度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時(shí)混入三中不同氣體。 路氣體流量范圍為10-100 cc/min 。 第二路氣流流量范圍為16-160 cc/min。 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min。 一個壓力表安裝在移動架上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接。 移動架上安裝有4個不銹鋼針閥。 |
尺寸 | 高溫爐：863 L×457 W×711 H mm（34 L×18 W×28 H inch） |
質(zhì)保期&質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期（不包括爐管加熱元件和密封圈） CE certified |
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